光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2003年
8期
989-992
,共4页
马哲国%夏义本%王林军%方志军%张伟丽%张明龙
馬哲國%夏義本%王林軍%方誌軍%張偉麗%張明龍
마철국%하의본%왕림군%방지군%장위려%장명룡
薄膜光学%微波等离子体化学气相沉积%金刚石薄膜%光学性质%红外椭圆偏振光谱
薄膜光學%微波等離子體化學氣相沉積%金剛石薄膜%光學性質%紅外橢圓偏振光譜
박막광학%미파등리자체화학기상침적%금강석박막%광학성질%홍외타원편진광보
提出一种分析微波等离子体化学气相沉积工艺条件对金刚石薄膜的组成和光学性质影响的方法.采用红外椭圆偏振光谱仪来分析Si衬底上金刚石薄膜的组成和光学性质,研究微波等离子体化学气相沉积法生长条件和退火工艺对金刚石薄膜的消光系数和折射率的影响.实验表明金刚石薄膜中存在C-H、C=C、O-H和C=O键,生长条件对薄膜中C-H和C=C键的含量及薄膜的折射率影响较大;薄膜经过退火后薄膜的光学性质得到明显改善.
提齣一種分析微波等離子體化學氣相沉積工藝條件對金剛石薄膜的組成和光學性質影響的方法.採用紅外橢圓偏振光譜儀來分析Si襯底上金剛石薄膜的組成和光學性質,研究微波等離子體化學氣相沉積法生長條件和退火工藝對金剛石薄膜的消光繫數和摺射率的影響.實驗錶明金剛石薄膜中存在C-H、C=C、O-H和C=O鍵,生長條件對薄膜中C-H和C=C鍵的含量及薄膜的摺射率影響較大;薄膜經過退火後薄膜的光學性質得到明顯改善.
제출일충분석미파등리자체화학기상침적공예조건대금강석박막적조성화광학성질영향적방법.채용홍외타원편진광보의래분석Si츤저상금강석박막적조성화광학성질,연구미파등리자체화학기상침적법생장조건화퇴화공예대금강석박막적소광계수화절사솔적영향.실험표명금강석박막중존재C-H、C=C、O-H화C=O건,생장조건대박막중C-H화C=C건적함량급박막적절사솔영향교대;박막경과퇴화후박막적광학성질득도명현개선.
