光电子技术
光電子技術
광전자기술
OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY
2006年
3期
208-210,216
,共4页
椭偏仪%薄膜厚度测量%误差修正%软件
橢偏儀%薄膜厚度測量%誤差脩正%軟件
타편의%박막후도측량%오차수정%연건
提出了一套对椭偏仪的测量误差进行有效修正的方案,设计了一个Windows版的椭偏仪测厚数据处理软件,并在该软件中嵌入了对测量数据的误差进行修正的方法,使椭偏仪的最终测量结果更加精确.制作了30片厚度梯度分布的标准样片(厚度20 nm～1 μm),用于从"软"、"硬"件两个方面对椭偏仪进行误差修正,使最终的误差小于1%.本文所提出的修正方案具有一定的普适性、实用性.
提齣瞭一套對橢偏儀的測量誤差進行有效脩正的方案,設計瞭一箇Windows版的橢偏儀測厚數據處理軟件,併在該軟件中嵌入瞭對測量數據的誤差進行脩正的方法,使橢偏儀的最終測量結果更加精確.製作瞭30片厚度梯度分佈的標準樣片(厚度20 nm～1 μm),用于從"軟"、"硬"件兩箇方麵對橢偏儀進行誤差脩正,使最終的誤差小于1%.本文所提齣的脩正方案具有一定的普適性、實用性.
제출료일투대타편의적측량오차진행유효수정적방안,설계료일개Windows판적타편의측후수거처리연건,병재해연건중감입료대측량수거적오차진행수정적방법,사타편의적최종측량결과경가정학.제작료30편후도제도분포적표준양편(후도20 nm～1 μm),용우종"연"、"경"건량개방면대타편의진행오차수정,사최종적오차소우1%.본문소제출적수정방안구유일정적보괄성、실용성.
