光谱实验室
光譜實驗室
광보실험실
CHINESE JOURNAL OF SPECTROSCOPY LABORATORY
2008年
3期
459-461
,共3页
类金刚石%拉曼光谱%sp3.
類金剛石%拉曼光譜%sp3.
류금강석%랍만광보%sp3.
用射频、直流磁控溅射和多弧离子镀制备一系列类金刚石(DLC)薄膜样品,并测量了样品的拉曼光谱.通过数据分析发现三种沉积方式中多弧离子镀沉积得到的薄膜含有更高的sp3含量.采用多弧离子镀设备,在不同的溅射负偏压下沉积了一系列的DLC薄膜样品,对样品进行拉曼光谱测试,通过对比分析发现随着沉积负偏压的提高,薄膜内sp3的含量不断提高.表明可以通过提高多弧离子镀的负偏压来提高DLC薄膜的质量.
用射頻、直流磁控濺射和多弧離子鍍製備一繫列類金剛石(DLC)薄膜樣品,併測量瞭樣品的拉曼光譜.通過數據分析髮現三種沉積方式中多弧離子鍍沉積得到的薄膜含有更高的sp3含量.採用多弧離子鍍設備,在不同的濺射負偏壓下沉積瞭一繫列的DLC薄膜樣品,對樣品進行拉曼光譜測試,通過對比分析髮現隨著沉積負偏壓的提高,薄膜內sp3的含量不斷提高.錶明可以通過提高多弧離子鍍的負偏壓來提高DLC薄膜的質量.
용사빈、직류자공천사화다호리자도제비일계렬류금강석(DLC)박막양품,병측량료양품적랍만광보.통과수거분석발현삼충침적방식중다호리자도침적득도적박막함유경고적sp3함량.채용다호리자도설비,재불동적천사부편압하침적료일계렬적DLC박막양품,대양품진행랍만광보측시,통과대비분석발현수착침적부편압적제고,박막내sp3적함량불단제고.표명가이통과제고다호리자도적부편압래제고DLC박막적질량.
