仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2009年
7期
1395-1399
,共5页
多层膜%烧结型气敏传感器%磁控溅射
多層膜%燒結型氣敏傳感器%磁控濺射
다층막%소결형기민전감기%자공천사
针对粉末烧结型SnO2:基气体传感器功耗大、交叉敏感、工作温度高的问题,研制了多层复合薄膜型气体传感器,以抛光的耐热石英玻璃为基片,真空磁控溅射50～70 am厚度的SnO2薄膜,在SnO2薄膜上分别溅射不连续的ZnO、AI2O3、InO等薄膜,传感器背面溅射30 μm的Ni80Cr20电阻合金作为传感器加热电阻,用薄膜热电偶测量传感器工作温度.测试了不同的复合膜对传感器灵敏度和选择性的影响,并对传感器的吸附与解吸速度进行了测试,薄膜传感器达到相同灵敏度所需的工作温度比粉末烧结型传感器下降100～150℃,吸附解吸速度比粉末烧结型快.
針對粉末燒結型SnO2:基氣體傳感器功耗大、交扠敏感、工作溫度高的問題,研製瞭多層複閤薄膜型氣體傳感器,以拋光的耐熱石英玻璃為基片,真空磁控濺射50～70 am厚度的SnO2薄膜,在SnO2薄膜上分彆濺射不連續的ZnO、AI2O3、InO等薄膜,傳感器揹麵濺射30 μm的Ni80Cr20電阻閤金作為傳感器加熱電阻,用薄膜熱電偶測量傳感器工作溫度.測試瞭不同的複閤膜對傳感器靈敏度和選擇性的影響,併對傳感器的吸附與解吸速度進行瞭測試,薄膜傳感器達到相同靈敏度所需的工作溫度比粉末燒結型傳感器下降100～150℃,吸附解吸速度比粉末燒結型快.
침대분말소결형SnO2:기기체전감기공모대、교차민감、공작온도고적문제,연제료다층복합박막형기체전감기,이포광적내열석영파리위기편,진공자공천사50～70 am후도적SnO2박막,재SnO2박막상분별천사불련속적ZnO、AI2O3、InO등박막,전감기배면천사30 μm적Ni80Cr20전조합금작위전감기가열전조,용박막열전우측량전감기공작온도.측시료불동적복합막대전감기령민도화선택성적영향,병대전감기적흡부여해흡속도진행료측시,박막전감기체도상동령민도소수적공작온도비분말소결형전감기하강100～150℃,흡부해흡속도비분말소결형쾌.
