CAJ | 학술논문

光学吸收法是一种工程上有效可行的检测痕量甲烷气体的方法,具有广泛地应用于构建煤矿坑道等场合的安全防护和报警系统的潜力.为实现针对甲烷气体1653nm吸收峰特性的单色光源,采用金属有机化合物化学气相沉积外延和纳米压印等技术手段,从多量子阱外延材料设计和金属有机化合物化学气相沉生长到器件封装,研制了1653nm分布反馈激光器.器件性能达到了52dB边模抑制比、14.9%的外微分斜率效率、不大于12mA的阈值电流、匹配甲烷1653nm吸收带的0.116nm@20dB光谱线宽和稳定的光学与电学特性.基于该激光器,对体积分数为0.005~0.05的甲烷气体测试误差率不大于1.3%.结果表明,该器件能够应用于基于谐波法的痕量甲烷探测工程系统,且适应于批量制造.
광학흡수법시일충공정상유효가행적검측흔량갑완기체적방법,구유엄범지응용우구건매광갱도등장합적안전방호화보경계통적잠력.위실현침대갑완기체1653nm흡수봉특성적단색광원,채용금속유궤화합물화학기상침적외연화납미압인등기술수단,종다양자정외연재료설계화금속유궤화합물화학기상침생장도기건봉장,연제료1653nm분포반궤격광기.기건성능체도료52dB변모억제비、14.9%적외미분사솔효솔、불대우12mA적역치전류、필배갑완1653nm흡수대적0.116nm@20dB광보선관화은정적광학여전학특성.기우해격광기,대체적분수위0.005~0.05적갑완기체측시오차솔불대우1.3%.결과표명,해기건능구응용우기우해파법적흔량갑완탐측공정계통,차괄응우비량제조.