科学技术与工程
科學技術與工程
과학기술여공정
SCIENCE TECHNOLOGY AND ENGINEERING
2012年
24期
5989-5993,6002
,共6页
张海松%李江财%陶李洋%李陈平%林晶晶%马李
張海鬆%李江財%陶李洋%李陳平%林晶晶%馬李
장해송%리강재%도리양%리진평%림정정%마리
微层板%氧化%微观形貌%氧化热力学%氧化动力学
微層闆%氧化%微觀形貌%氧化熱力學%氧化動力學
미층판%양화%미관형모%양화열역학%양화동역학
对前期采用电子束物理气相沉积法制备的Ti/TiAl微层板进行了高温氧化研究.利用XRD、SEM、EDS对涂层的相结构变化、表面形貌、化学成分进行了实验分析.结果表明,随着温度升高,Al向富Ti区域的扩散越来越快,界面融混现象愈加严重.微层板的高温氧化机制为:Ti原子的不断外扩散使氧化膜中各层的Ti含量都有增加.Al2O3和TiO2分别具有热力学生成优势和动力学生长优势,表面氧化由最初的Al2O3膜逐渐向(TiO2+Al2O3)及TiO2过渡.
對前期採用電子束物理氣相沉積法製備的Ti/TiAl微層闆進行瞭高溫氧化研究.利用XRD、SEM、EDS對塗層的相結構變化、錶麵形貌、化學成分進行瞭實驗分析.結果錶明,隨著溫度升高,Al嚮富Ti區域的擴散越來越快,界麵融混現象愈加嚴重.微層闆的高溫氧化機製為:Ti原子的不斷外擴散使氧化膜中各層的Ti含量都有增加.Al2O3和TiO2分彆具有熱力學生成優勢和動力學生長優勢,錶麵氧化由最初的Al2O3膜逐漸嚮(TiO2+Al2O3)及TiO2過渡.
대전기채용전자속물리기상침적법제비적Ti/TiAl미층판진행료고온양화연구.이용XRD、SEM、EDS대도층적상결구변화、표면형모、화학성분진행료실험분석.결과표명,수착온도승고,Al향부Ti구역적확산월래월쾌,계면융혼현상유가엄중.미층판적고온양화궤제위:Ti원자적불단외확산사양화막중각층적Ti함량도유증가.Al2O3화TiO2분별구유열역학생성우세화동역학생장우세,표면양화유최초적Al2O3막축점향(TiO2+Al2O3)급TiO2과도.
