华中理工大学学报
華中理工大學學報
화중리공대학학보
JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
1999年
1期
37-40
,共4页
陈善宝%林更琪%邱进军%张志强
陳善寶%林更琪%邱進軍%張誌彊
진선보%림경기%구진군%장지강
软磁薄膜%磁控溅射%磁场定向%高频磁阻抗效应
軟磁薄膜%磁控濺射%磁場定嚮%高頻磁阻抗效應
연자박막%자공천사%자장정향%고빈자조항효응
讨论了用于高频磁阻抗效应传感技术的NeFe软磁薄膜制备和薄膜单轴各向异性产生方法及机理.用射频磁控溅射法在几十kA/m磁场定向下制备出具有一定单轴各向异性的Ni81Fe19 软磁薄膜,并对所测得的薄膜各种磁化曲线进行了分析.
討論瞭用于高頻磁阻抗效應傳感技術的NeFe軟磁薄膜製備和薄膜單軸各嚮異性產生方法及機理.用射頻磁控濺射法在幾十kA/m磁場定嚮下製備齣具有一定單軸各嚮異性的Ni81Fe19 軟磁薄膜,併對所測得的薄膜各種磁化麯線進行瞭分析.
토론료용우고빈자조항효응전감기술적NeFe연자박막제비화박막단축각향이성산생방법급궤리.용사빈자공천사법재궤십kA/m자장정향하제비출구유일정단축각향이성적Ni81Fe19 연자박막,병대소측득적박막각충자화곡선진행료분석.
