上海交通大学学报
上海交通大學學報
상해교통대학학보
JOURNAL OF SHANGHAI JIAOTONG UNIVERSITY
2004年
z1期
118-121
,共4页
张丛春%杨春生%丁桂甫%毛海平%倪智萍
張叢春%楊春生%丁桂甫%毛海平%倪智萍
장총춘%양춘생%정계보%모해평%예지평
反应离子刻蚀%有机玻璃%微结构%微机电系统
反應離子刻蝕%有機玻璃%微結構%微機電繫統
반응리자각식%유궤파리%미결구%미궤전계통
以有机玻璃薄片为原料,进行反应离子深刻蚀,探讨了有机玻璃的刻蚀反应机理,着重研究了工作气压和功率密度对刻蚀速率、图形形貌的影响.结果表明,O2反应离子刻蚀有机玻璃是以化学刻蚀为主,同时离子碰撞作用也很重要.刻蚀速率开始随气压增大而加快,刻蚀速率主要受氧活性粒子浓度控制;气压超过一定值时,刻蚀速率反而减小,气压太高不利于各向异性刻蚀.刻蚀速率随功率增加而增大,适当增大功率有利于各向异性刻蚀.通过优化刻蚀工艺,可以获得侧壁较陡直光滑的有机玻璃微结构,扩展了加工微结构的方法.
以有機玻璃薄片為原料,進行反應離子深刻蝕,探討瞭有機玻璃的刻蝕反應機理,著重研究瞭工作氣壓和功率密度對刻蝕速率、圖形形貌的影響.結果錶明,O2反應離子刻蝕有機玻璃是以化學刻蝕為主,同時離子踫撞作用也很重要.刻蝕速率開始隨氣壓增大而加快,刻蝕速率主要受氧活性粒子濃度控製;氣壓超過一定值時,刻蝕速率反而減小,氣壓太高不利于各嚮異性刻蝕.刻蝕速率隨功率增加而增大,適噹增大功率有利于各嚮異性刻蝕.通過優化刻蝕工藝,可以穫得側壁較陡直光滑的有機玻璃微結構,擴展瞭加工微結構的方法.
이유궤파리박편위원료,진행반응리자심각식,탐토료유궤파리적각식반응궤리,착중연구료공작기압화공솔밀도대각식속솔、도형형모적영향.결과표명,O2반응리자각식유궤파리시이화학각식위주,동시리자팽당작용야흔중요.각식속솔개시수기압증대이가쾌,각식속솔주요수양활성입자농도공제;기압초과일정치시,각식속솔반이감소,기압태고불리우각향이성각식.각식속솔수공솔증가이증대,괄당증대공솔유리우각향이성각식.통과우화각식공예,가이획득측벽교두직광활적유궤파리미결구,확전료가공미결구적방법.
