光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2007年
1期
30-33
,共4页
翟春雪%张志勇%王雪文%赵武%阎军锋
翟春雪%張誌勇%王雪文%趙武%閻軍鋒
적춘설%장지용%왕설문%조무%염군봉
半导体材料%场发射阴极%键合%纳米金刚石%钛衬底
半導體材料%場髮射陰極%鍵閤%納米金剛石%鈦襯底
반도체재료%장발사음겁%건합%납미금강석%태츤저
设计了一种新的金刚石场发射阴极工艺.用旋涂法在金属钛片上涂覆纳米金刚石涂层,经过适当条件的真空热处理,实现钛与金刚石之间的化学键合即欧姆接触,从而形成以金属钛为衬底,碳化钛键合层为过渡层,金刚石纳米颗粒为场发射体的场发射阴极.样品的阈值场强可达 6.3 V/μm,场发射电流密度在21 V/μm场强下可达到60.7 μA/cm2.提出了样品的结构模型,并分析了其电子输运方式.样品的Fowler-Nordheim曲线基本为一直线,根据经典场发射理论,可以证实其电子发射机制为场发射.观察到在获得稳定的场发射性能之前存在激发过程,并对其作了简单解释.
設計瞭一種新的金剛石場髮射陰極工藝.用鏇塗法在金屬鈦片上塗覆納米金剛石塗層,經過適噹條件的真空熱處理,實現鈦與金剛石之間的化學鍵閤即歐姆接觸,從而形成以金屬鈦為襯底,碳化鈦鍵閤層為過渡層,金剛石納米顆粒為場髮射體的場髮射陰極.樣品的閾值場彊可達 6.3 V/μm,場髮射電流密度在21 V/μm場彊下可達到60.7 μA/cm2.提齣瞭樣品的結構模型,併分析瞭其電子輸運方式.樣品的Fowler-Nordheim麯線基本為一直線,根據經典場髮射理論,可以證實其電子髮射機製為場髮射.觀察到在穫得穩定的場髮射性能之前存在激髮過程,併對其作瞭簡單解釋.
설계료일충신적금강석장발사음겁공예.용선도법재금속태편상도복납미금강석도층,경과괄당조건적진공열처리,실현태여금강석지간적화학건합즉구모접촉,종이형성이금속태위츤저,탄화태건합층위과도층,금강석납미과립위장발사체적장발사음겁.양품적역치장강가체 6.3 V/μm,장발사전류밀도재21 V/μm장강하가체도60.7 μA/cm2.제출료양품적결구모형,병분석료기전자수운방식.양품적Fowler-Nordheim곡선기본위일직선,근거경전장발사이론,가이증실기전자발사궤제위장발사.관찰도재획득은정적장발사성능지전존재격발과정,병대기작료간단해석.
