金刚石与磨料磨具工程
金剛石與磨料磨具工程
금강석여마료마구공정
DIAMOND & ABRASIVES ENGINNERING
2008年
1期
73-81
,共9页
姜荣超%雷雨%李超群%刘谷成%周晓丹
薑榮超%雷雨%李超群%劉穀成%週曉丹
강영초%뇌우%리초군%류곡성%주효단
半导体%集成电路%精密金刚石工具
半導體%集成電路%精密金剛石工具
반도체%집성전로%정밀금강석공구
随着我国半导体工业集成电路(IC)业的快速发展,硅材料加工用金刚石工具具有巨大的潜在市吵了半导体加工中使用的各种金刚石工具:其中包括:单晶硅晶锭的裁切与整圆、晶圆线切割、倒圆磨边、磨削、CMP修整器、背面减薄与划片及其最新发展.详细介绍了各种不同类型CMP修整器及其完善与发展.建议应积极研发我国半导体工业硅材料加工用金刚石工具.
隨著我國半導體工業集成電路(IC)業的快速髮展,硅材料加工用金剛石工具具有巨大的潛在市吵瞭半導體加工中使用的各種金剛石工具:其中包括:單晶硅晶錠的裁切與整圓、晶圓線切割、倒圓磨邊、磨削、CMP脩整器、揹麵減薄與劃片及其最新髮展.詳細介紹瞭各種不同類型CMP脩整器及其完善與髮展.建議應積極研髮我國半導體工業硅材料加工用金剛石工具.
수착아국반도체공업집성전로(IC)업적쾌속발전,규재료가공용금강석공구구유거대적잠재시묘료반도체가공중사용적각충금강석공구:기중포괄:단정규정정적재절여정원、정원선절할、도원마변、마삭、CMP수정기、배면감박여화편급기최신발전.상세개소료각충불동류형CMP수정기급기완선여발전.건의응적겁연발아국반도체공업규재료가공용금강석공구.
