光谱学与光谱分析
光譜學與光譜分析
광보학여광보분석
SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS
2008年
11期
2708-2712
,共5页
王永青%娄建忠%孙荣霞%马雯%唐予军%蒲永妮
王永青%婁建忠%孫榮霞%馬雯%唐予軍%蒲永妮
왕영청%루건충%손영하%마문%당여군%포영니
原子发射光谱%表面微机械加工技术%微型ICP激发源%光谱仪%平面螺旋电感
原子髮射光譜%錶麵微機械加工技術%微型ICP激髮源%光譜儀%平麵螺鏇電感
원자발사광보%표면미궤계가공기술%미형ICP격발원%광보의%평면라선전감
随着微电子机械系统(MEMS)技术的发展,基于MEMS的光谱仪分光系统和光电检测系统研究报道日益增多,但是微型激发源的研究报道相对较少.文章介绍了一种基于表面微机械加工技术的微型电感耦合等离子体(ICP)激发源,其RF功耗在数瓦以下、氩气消耗量远低于常规ICP激发源.阐述了这种激发源的结构、加工工艺流程及性能指标.同时还介绍了作者设计制作的基于PCB工艺的微型lCP激发源,采用了平面螺旋电感线圈和平面梳状交指电容,在100 Pa氩气气压下用13.56 MHz,3.5 W射频功率激励点
燃了等离子体火炬,给出了装置的外观微型ICP火炬的照片.最后展望了该微型的ICP激发源在光谱仪中的应用前景.
隨著微電子機械繫統(MEMS)技術的髮展,基于MEMS的光譜儀分光繫統和光電檢測繫統研究報道日益增多,但是微型激髮源的研究報道相對較少.文章介紹瞭一種基于錶麵微機械加工技術的微型電感耦閤等離子體(ICP)激髮源,其RF功耗在數瓦以下、氬氣消耗量遠低于常規ICP激髮源.闡述瞭這種激髮源的結構、加工工藝流程及性能指標.同時還介紹瞭作者設計製作的基于PCB工藝的微型lCP激髮源,採用瞭平麵螺鏇電感線圈和平麵梳狀交指電容,在100 Pa氬氣氣壓下用13.56 MHz,3.5 W射頻功率激勵點
燃瞭等離子體火炬,給齣瞭裝置的外觀微型ICP火炬的照片.最後展望瞭該微型的ICP激髮源在光譜儀中的應用前景.
수착미전자궤계계통(MEMS)기술적발전,기우MEMS적광보의분광계통화광전검측계통연구보도일익증다,단시미형격발원적연구보도상대교소.문장개소료일충기우표면미궤계가공기술적미형전감우합등리자체(ICP)격발원,기RF공모재수와이하、아기소모량원저우상규ICP격발원.천술료저충격발원적결구、가공공예류정급성능지표.동시환개소료작자설계제작적기우PCB공예적미형lCP격발원,채용료평면라선전감선권화평면소상교지전용,재100 Pa아기기압하용13.56 MHz,3.5 W사빈공솔격려점
연료등리자체화거,급출료장치적외관미형ICP화거적조편.최후전망료해미형적ICP격발원재광보의중적응용전경.
