CAJ | 학술논문

本文描述了一种与CMOS工艺完全兼容的热电堆微型热传导真空传感器.该传感器可在商业化的标准CMOS生产流水线上进行流片,配合后续的无掩模体硅各向异性腐蚀工艺,即可完成全部制造程序.器件敏感部分为124μm×100μm的多层复合薄膜架空结构,其卜制作了n型多晶硅加热器、20对由p型多晶硅条和铝条构成的热电堆.利用加热器对复合薄膜加热,在不同的真空状态下,薄膜呈现不同温度,温度值由热电堆转换为温差电动势输出.本文在以下方面进行详细描述:1.器件的结构设计和制造工艺;2.器件的稳态和瞬态有限元分析;3.测试结果与理论分析的对照.结果表明,在加热器1.5V恒压驱动条件下,器件的气压敏感范围为0.1Pa～l05Pa(空气),此时热电堆输出电压范围为26mV～50mV,最大响应时间预计为1.4ms.
본문묘술료일충여CMOS공예완전겸용적열전퇴미형열전도진공전감기.해전감기가재상업화적표준CMOS생산류수선상진행류편,배합후속적무엄모체규각향이성부식공예,즉가완성전부제조정서.기건민감부분위124μm×100μm적다층복합박막가공결구,기복제작료n형다정규가열기、20대유p형다정규조화려조구성적열전퇴.이용가열기대복합박막가열,재불동적진공상태하,박막정현불동온도,온도치유열전퇴전환위온차전동세수출.본문재이하방면진행상세묘술:1.기건적결구설계화제조공예;2.기건적은태화순태유한원분석;3.측시결과여이론분석적대조.결과표명,재가열기1.5V항압구동조건하,기건적기압민감범위위0.1Pa～l05Pa(공기),차시열전퇴수출전압범위위26mV～50mV,최대향응시간예계위1.4ms.