真空
真空
진공
VACUUM
2010年
4期
87-90
,共4页
吕桂强%陈旭%荣维刚%金奇计
呂桂彊%陳旭%榮維剛%金奇計
려계강%진욱%영유강%금기계
氟油器件%质谱检漏%累积
氟油器件%質譜檢漏%纍積
불유기건%질보검루%루적
针对充氟油器件泄漏介质为氟抽的检漏需求,研制了一套四极质谱计检漏设备,该设备由四极质谱计和取样系统组成,使用累积法对充氟油器件进行检漏.文中介绍了系统的组成与原理,设备的校准,给出并讨论了实验结果.实验结果及用户的实际使用情况表明:充氟油器件检漏设备方法可行、性能可靠,相对误差在10%以内.
針對充氟油器件洩漏介質為氟抽的檢漏需求,研製瞭一套四極質譜計檢漏設備,該設備由四極質譜計和取樣繫統組成,使用纍積法對充氟油器件進行檢漏.文中介紹瞭繫統的組成與原理,設備的校準,給齣併討論瞭實驗結果.實驗結果及用戶的實際使用情況錶明:充氟油器件檢漏設備方法可行、性能可靠,相對誤差在10%以內.
침대충불유기건설루개질위불추적검루수구,연제료일투사겁질보계검루설비,해설비유사겁질보계화취양계통조성,사용루적법대충불유기건진행검루.문중개소료계통적조성여원리,설비적교준,급출병토론료실험결과.실험결과급용호적실제사용정황표명:충불유기건검루설비방법가행、성능가고,상대오차재10%이내.
