纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2011年
1期
58-64
,共7页
陈代谢%殷伯华%林云生%韩立%李敏
陳代謝%慇伯華%林雲生%韓立%李敏
진대사%은백화%림운생%한립%리민
比例积分%参数寻优%优化算法%原子力显微镜%控制器
比例積分%參數尋優%優化算法%原子力顯微鏡%控製器
비례적분%삼수심우%우화산법%원자력현미경%공제기
针对传统比例-积分-微分(PID)控制器参数整定困难的问题,提出一种新型比例-积分(PI)参数自动寻优控制器(SPO).先确定PI参数的取值范围,按一定取值间距建立PI参数的查找表;针对反馈跟踪控制的3个性能指标,包括上升时间、超调量和稳态误差,分别根据查找表的参数进行轮询式测试,建立3个独立的性能评价数据库;根据满意度函数映射和自动规则产生算法,将3个评价数据库分别用函数表示;为了综合考虑3个性能指标,使系统控制的整体性能达到最佳,引入了价格函数;最后通过基于层截面颗粒度分析的图形算法,寻找出最优的PI参数.在原子力显微镜(AFM)上的实验证明,本控制器能自动寻找出适合当前系统状态的最优PI参数,可避免由于人为经验因素对扫描成像造成的影响,从而取得更好的扫描图像.
針對傳統比例-積分-微分(PID)控製器參數整定睏難的問題,提齣一種新型比例-積分(PI)參數自動尋優控製器(SPO).先確定PI參數的取值範圍,按一定取值間距建立PI參數的查找錶;針對反饋跟蹤控製的3箇性能指標,包括上升時間、超調量和穩態誤差,分彆根據查找錶的參數進行輪詢式測試,建立3箇獨立的性能評價數據庫;根據滿意度函數映射和自動規則產生算法,將3箇評價數據庫分彆用函數錶示;為瞭綜閤攷慮3箇性能指標,使繫統控製的整體性能達到最佳,引入瞭價格函數;最後通過基于層截麵顆粒度分析的圖形算法,尋找齣最優的PI參數.在原子力顯微鏡(AFM)上的實驗證明,本控製器能自動尋找齣適閤噹前繫統狀態的最優PI參數,可避免由于人為經驗因素對掃描成像造成的影響,從而取得更好的掃描圖像.
침대전통비례-적분-미분(PID)공제기삼수정정곤난적문제,제출일충신형비례-적분(PI)삼수자동심우공제기(SPO).선학정PI삼수적취치범위,안일정취치간거건립PI삼수적사조표;침대반궤근종공제적3개성능지표,포괄상승시간、초조량화은태오차,분별근거사조표적삼수진행륜순식측시,건립3개독립적성능평개수거고;근거만의도함수영사화자동규칙산생산법,장3개평개수거고분별용함수표시;위료종합고필3개성능지표,사계통공제적정체성능체도최가,인입료개격함수;최후통과기우층절면과립도분석적도형산법,심조출최우적PI삼수.재원자력현미경(AFM)상적실험증명,본공제기능자동심조출괄합당전계통상태적최우PI삼수,가피면유우인위경험인소대소묘성상조성적영향,종이취득경호적소묘도상.
