能源工程
能源工程
능원공정
ENERGY ENGINEERING
2011年
4期
1-5
,共5页
万金雄%程乐鸣%杨春%朱茜茜%骆仲泱
萬金雄%程樂鳴%楊春%硃茜茜%駱仲泱
만금웅%정악명%양춘%주천천%락중앙
氮化硅%硅氮反应%热重%XRD
氮化硅%硅氮反應%熱重%XRD
담화규%규담반응%열중%XRD
为了研究反应温度、粒径等氮化参数对氮化硅转化率的影响,使用三种不同粒径的硅粉颗粒在热重同步分析仪(TG)中进行了实验研究,并对反应产物进行了X射线衍射(XRD)分析,得到了氮化硅转化率随时间变化曲线.研究结果表明,硅、氮会在1000～1100℃开始发生反应,随后进入动力学控制阶段,该阶段持续5 ～10 min,反应速率很快,最后进入反应速度较慢的扩散控制阶段.结果还表明,较小粒径原料和较高的温度对氮化硅转化率有积极影响,而硅粉原料表面的氧化层对硅氮反应有阻碍作用.粒径2.5 μm的硅粉在1350℃时,其α相转化率可达75％,总转化率在90％以上.
為瞭研究反應溫度、粒徑等氮化參數對氮化硅轉化率的影響,使用三種不同粒徑的硅粉顆粒在熱重同步分析儀(TG)中進行瞭實驗研究,併對反應產物進行瞭X射線衍射(XRD)分析,得到瞭氮化硅轉化率隨時間變化麯線.研究結果錶明,硅、氮會在1000～1100℃開始髮生反應,隨後進入動力學控製階段,該階段持續5 ～10 min,反應速率很快,最後進入反應速度較慢的擴散控製階段.結果還錶明,較小粒徑原料和較高的溫度對氮化硅轉化率有積極影響,而硅粉原料錶麵的氧化層對硅氮反應有阻礙作用.粒徑2.5 μm的硅粉在1350℃時,其α相轉化率可達75％,總轉化率在90％以上.
위료연구반응온도、립경등담화삼수대담화규전화솔적영향,사용삼충불동립경적규분과립재열중동보분석의(TG)중진행료실험연구,병대반응산물진행료X사선연사(XRD)분석,득도료담화규전화솔수시간변화곡선.연구결과표명,규、담회재1000～1100℃개시발생반응,수후진입동역학공제계단,해계단지속5 ～10 min,반응속솔흔쾌,최후진입반응속도교만적확산공제계단.결과환표명,교소립경원료화교고적온도대담화규전화솔유적겁영향,이규분원료표면적양화층대규담반응유조애작용.립경2.5 μm적규분재1350℃시,기α상전화솔가체75％,총전화솔재90％이상.
