压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2012年
2期
222-225
,共4页
范金焰%温志渝%陈李%温中泉%刘海涛
範金燄%溫誌渝%陳李%溫中泉%劉海濤
범금염%온지투%진리%온중천%류해도
加速度传感器%真空微电子%闭环控制
加速度傳感器%真空微電子%閉環控製
가속도전감기%진공미전자%폐배공제
为提高真空微电子加速度传感器的线性度,提出了基于数字PID控制算法的真空微电子加速度传感器闭环控制方法.建立了真空微电子加速度传感器闭环控制模型,进行仿真分析.设计制作以TMS320VC5416DSP为核心的控制电路,实现了真空微电子加速度传感器的闭环控制.实验结果表明,在士10 m/s2)的测量范围内,加速度计的标度因数为0.212 7,满量程输出电压为0.427 3 V,非线性度≤0.98％.该电路能较好的实现真空微电子加速度传感器的闭环控制.
為提高真空微電子加速度傳感器的線性度,提齣瞭基于數字PID控製算法的真空微電子加速度傳感器閉環控製方法.建立瞭真空微電子加速度傳感器閉環控製模型,進行倣真分析.設計製作以TMS320VC5416DSP為覈心的控製電路,實現瞭真空微電子加速度傳感器的閉環控製.實驗結果錶明,在士10 m/s2)的測量範圍內,加速度計的標度因數為0.212 7,滿量程輸齣電壓為0.427 3 V,非線性度≤0.98％.該電路能較好的實現真空微電子加速度傳感器的閉環控製.
위제고진공미전자가속도전감기적선성도,제출료기우수자PID공제산법적진공미전자가속도전감기폐배공제방법.건립료진공미전자가속도전감기폐배공제모형,진행방진분석.설계제작이TMS320VC5416DSP위핵심적공제전로,실현료진공미전자가속도전감기적폐배공제.실험결과표명,재사10 m/s2)적측량범위내,가속도계적표도인수위0.212 7,만량정수출전압위0.427 3 V,비선성도≤0.98％.해전로능교호적실현진공미전자가속도전감기적폐배공제.
