科技信息
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과기신식
SCIENTIFIC & TECHNICAL INFORMATION
2011年
22期
18-19
,共2页
张程%余森江%张永炬%王艳%周红
張程%餘森江%張永炬%王豔%週紅
장정%여삼강%장영거%왕염%주홍
楔形薄膜%褶皱%内应力%边界效应
楔形薄膜%褶皺%內應力%邊界效應
설형박막%습추%내응력%변계효응
采用直流磁控溅射方法,在玻璃基片上制备了环状楔形铁薄膜系统,研究了该薄膜的褶皱形貌.实验表明,楔形铁薄膜在沉积过程中受到硅油的淬火作用而产生较大的压应力,并以电话线褶皱的形式得以释放.电话线褶皱在大气气氛中成核并缓慢生长,其生长周期可达几天到几十天.由于圆环边界的限制作用,电话线褶皱在边界处往往形成平行于周边的正弦结构,而远离边界处则形成无规的电话线褶皱网格.楔形铁薄膜的厚度由边界处往内部递减,因而电话线褶皱的尺寸(包括正弦波长和振幅)也逐渐衰减.
採用直流磁控濺射方法,在玻璃基片上製備瞭環狀楔形鐵薄膜繫統,研究瞭該薄膜的褶皺形貌.實驗錶明,楔形鐵薄膜在沉積過程中受到硅油的淬火作用而產生較大的壓應力,併以電話線褶皺的形式得以釋放.電話線褶皺在大氣氣氛中成覈併緩慢生長,其生長週期可達幾天到幾十天.由于圓環邊界的限製作用,電話線褶皺在邊界處往往形成平行于週邊的正絃結構,而遠離邊界處則形成無規的電話線褶皺網格.楔形鐵薄膜的厚度由邊界處往內部遞減,因而電話線褶皺的呎吋(包括正絃波長和振幅)也逐漸衰減.
채용직류자공천사방법,재파리기편상제비료배상설형철박막계통,연구료해박막적습추형모.실험표명,설형철박막재침적과정중수도규유적쉬화작용이산생교대적압응력,병이전화선습추적형식득이석방.전화선습추재대기기분중성핵병완만생장,기생장주기가체궤천도궤십천.유우원배변계적한제작용,전화선습추재변계처왕왕형성평행우주변적정현결구,이원리변계처칙형성무규적전화선습추망격.설형철박막적후도유변계처왕내부체감,인이전화선습추적척촌(포괄정현파장화진폭)야축점쇠감.
