材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2011年
19期
13-17
,共5页
体硅技术%各向异性%电化学腐蚀
體硅技術%各嚮異性%電化學腐蝕
체규기술%각향이성%전화학부식
湿法腐蚀技术成本低,是硅微机械(Micromachining)加工中最基础、最关键的技术.着重讨论了3种主要湿法技术的优缺点,概述了硅的各向同性存在侧向腐蚀、各向异性受晶格限制以及电化学腐蚀受图形尺寸限制的缺点和局限性,探讨了国内外研究现状和湿法腐蚀技术存在的问题及今后电化学腐蚀技术在湿法技术中的地位.
濕法腐蝕技術成本低,是硅微機械(Micromachining)加工中最基礎、最關鍵的技術.著重討論瞭3種主要濕法技術的優缺點,概述瞭硅的各嚮同性存在側嚮腐蝕、各嚮異性受晶格限製以及電化學腐蝕受圖形呎吋限製的缺點和跼限性,探討瞭國內外研究現狀和濕法腐蝕技術存在的問題及今後電化學腐蝕技術在濕法技術中的地位.
습법부식기술성본저,시규미궤계(Micromachining)가공중최기출、최관건적기술.착중토론료3충주요습법기술적우결점,개술료규적각향동성존재측향부식、각향이성수정격한제이급전화학부식수도형척촌한제적결점화국한성,탐토료국내외연구현상화습법부식기술존재적문제급금후전화학부식기술재습법기술중적지위.
