纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2011年
3期
265-269
,共5页
王嫘%韩丰田%董景新%刘云峰
王嫘%韓豐田%董景新%劉雲峰
왕류%한봉전%동경신%류운봉
微静电陀螺%体硅工艺%铝牺牲层%静电键合
微靜電陀螺%體硅工藝%鋁犧牲層%靜電鍵閤
미정전타라%체규공예%려희생층%정전건합
为了探索微机械陀螺突破精度极限的新途径,设计了一种基于环形转子、体硅加工工艺、转子5自由度悬浮的硅微静电陀螺仪.采用玻璃-硅-玻璃键合的三明治式微陀螺结构,提出了包括双边光刻、反应离子刻蚀(RIE)、电感耦合等离子体(ICP)刻蚀、玻-硅静电键合、硅片减薄、多层金属溅射等关键工艺的加工路线.在工艺设计中采用铝牺牲层对转子进行约束,在第2次玻-硅键合后再通过湿法去除牺牲层,以得到可自由活动的转子.基于提出的体硅工艺路线,成功加工出了微陀螺敏感结构,并完成了转子5自由度悬浮和加转实验,测试结果表明大气环境下转子转速可达73.3r/min.
為瞭探索微機械陀螺突破精度極限的新途徑,設計瞭一種基于環形轉子、體硅加工工藝、轉子5自由度懸浮的硅微靜電陀螺儀.採用玻璃-硅-玻璃鍵閤的三明治式微陀螺結構,提齣瞭包括雙邊光刻、反應離子刻蝕(RIE)、電感耦閤等離子體(ICP)刻蝕、玻-硅靜電鍵閤、硅片減薄、多層金屬濺射等關鍵工藝的加工路線.在工藝設計中採用鋁犧牲層對轉子進行約束,在第2次玻-硅鍵閤後再通過濕法去除犧牲層,以得到可自由活動的轉子.基于提齣的體硅工藝路線,成功加工齣瞭微陀螺敏感結構,併完成瞭轉子5自由度懸浮和加轉實驗,測試結果錶明大氣環境下轉子轉速可達73.3r/min.
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