仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2011年
3期
590-595
,共6页
圆片级封装%气密封装%表面活化处理%直接键合
圓片級封裝%氣密封裝%錶麵活化處理%直接鍵閤
원편급봉장%기밀봉장%표면활화처리%직접건합
通过封装实验和性能检测,成功验证了表面活化直接键合技术应用于圆片级气密封装的可行性.实验中使用刻蚀出方形槽的硅圆片,通过化学表面活化方法.与基板硅圆片在室温下成功预键合,形成气密腔体;经过350℃、5 h的大气环境退火后强化了键合强度及气密性能.利用红外透射方法检测了键合后的硅圆片,其界面完整无明显空洞;键合界面横截面SEM图像显示键合界面均匀平整无显著缺陷.键合而成的气密腔体依次经过氦质谱仪和氟油检漏仪检测其气密性,平均漏率达到了1.175×10-8Pa·m3/s.
通過封裝實驗和性能檢測,成功驗證瞭錶麵活化直接鍵閤技術應用于圓片級氣密封裝的可行性.實驗中使用刻蝕齣方形槽的硅圓片,通過化學錶麵活化方法.與基闆硅圓片在室溫下成功預鍵閤,形成氣密腔體;經過350℃、5 h的大氣環境退火後彊化瞭鍵閤彊度及氣密性能.利用紅外透射方法檢測瞭鍵閤後的硅圓片,其界麵完整無明顯空洞;鍵閤界麵橫截麵SEM圖像顯示鍵閤界麵均勻平整無顯著缺陷.鍵閤而成的氣密腔體依次經過氦質譜儀和氟油檢漏儀檢測其氣密性,平均漏率達到瞭1.175×10-8Pa·m3/s.
통과봉장실험화성능검측,성공험증료표면활화직접건합기술응용우원편급기밀봉장적가행성.실험중사용각식출방형조적규원편,통과화학표면활화방법.여기판규원편재실온하성공예건합,형성기밀강체;경과350℃、5 h적대기배경퇴화후강화료건합강도급기밀성능.이용홍외투사방법검측료건합후적규원편,기계면완정무명현공동;건합계면횡절면SEM도상현시건합계면균균평정무현저결함.건합이성적기밀강체의차경과양질보의화불유검루의검측기기밀성,평균루솔체도료1.175×10-8Pa·m3/s.
