液晶与显示
液晶與顯示
액정여현시
CHINESE JOURNAL OF LIQUID CRYSTALS AND DISPLAYS
2011年
1期
54-58
,共5页
史晓菲%郭美霞%刘汉法%高金霞
史曉菲%郭美霞%劉漢法%高金霞
사효비%곽미하%류한법%고금하
TGZO薄膜%透明导电薄膜%溅射压强%磁控溅射
TGZO薄膜%透明導電薄膜%濺射壓彊%磁控濺射
TGZO박막%투명도전박막%천사압강%자공천사
利用直流磁控溅射工艺在玻璃衬底上制备出了透过率高、电阻率较低的钛镓共掺杂氧化锌透明导电薄膜(TGZO).研究了溅射压强对TGZO薄膜结构、形貌和光电性能的影响.研究结果表明,溅射压强对TGZO薄膜的结构和电阻率有重要影响.X射线衍射(XRD)表明,TGZO薄膜为具有c轴择优取向的六角纤锌矿结构多晶薄膜.薄膜的电阻率具有随着溅射压强的增大先减小,后增大的规律,在溅射压强虽为11 Pa时,实验获得的TGZO薄膜晶格畸变最小,电阻率具有最小值1.48×10-4Ω·cm,透过率具有最大值94.3%.实验制备的TGZO薄膜附着性能良好,在400～760 nm波长范围内的平均透过率都高于90%.
利用直流磁控濺射工藝在玻璃襯底上製備齣瞭透過率高、電阻率較低的鈦鎵共摻雜氧化鋅透明導電薄膜(TGZO).研究瞭濺射壓彊對TGZO薄膜結構、形貌和光電性能的影響.研究結果錶明,濺射壓彊對TGZO薄膜的結構和電阻率有重要影響.X射線衍射(XRD)錶明,TGZO薄膜為具有c軸擇優取嚮的六角纖鋅礦結構多晶薄膜.薄膜的電阻率具有隨著濺射壓彊的增大先減小,後增大的規律,在濺射壓彊雖為11 Pa時,實驗穫得的TGZO薄膜晶格畸變最小,電阻率具有最小值1.48×10-4Ω·cm,透過率具有最大值94.3%.實驗製備的TGZO薄膜附著性能良好,在400～760 nm波長範圍內的平均透過率都高于90%.
이용직류자공천사공예재파리츤저상제비출료투과솔고、전조솔교저적태가공참잡양화자투명도전박막(TGZO).연구료천사압강대TGZO박막결구、형모화광전성능적영향.연구결과표명,천사압강대TGZO박막적결구화전조솔유중요영향.X사선연사(XRD)표명,TGZO박막위구유c축택우취향적륙각섬자광결구다정박막.박막적전조솔구유수착천사압강적증대선감소,후증대적규률,재천사압강수위11 Pa시,실험획득적TGZO박막정격기변최소,전조솔구유최소치1.48×10-4Ω·cm,투과솔구유최대치94.3%.실험제비적TGZO박막부착성능량호,재400～760 nm파장범위내적평균투과솔도고우90%.
