科技创新导报
科技創新導報
과기창신도보
SCIENCE AND TECHNOLOGY CONSULTING HERALD
2011年
3期
54-55
,共2页
磁约束%有限元%磁控溅射%磁场强度
磁約束%有限元%磁控濺射%磁場彊度
자약속%유한원%자공천사%자장강도
磁约束原理目前主要应用于热核聚变中,本文介绍了磁约束原理及依据磁约束原理设计的磁控溅射装置,同时利用ANSYS11.0有限元分析软件对磁约束磁控溅射装置的磁场进行模拟计算,计算磁铁数量、厚度及相对磁铁间距对磁场的影响,进而得出靶面磁场强度的分布情况,并将数值模拟数据与实验测得数据做了对比分析.结果表明,实验实测数据与有限元分析数据基本一致,模拟结果为磁约束磁控溅射装置的设计提供了比较准确的数据资料.
磁約束原理目前主要應用于熱覈聚變中,本文介紹瞭磁約束原理及依據磁約束原理設計的磁控濺射裝置,同時利用ANSYS11.0有限元分析軟件對磁約束磁控濺射裝置的磁場進行模擬計算,計算磁鐵數量、厚度及相對磁鐵間距對磁場的影響,進而得齣靶麵磁場彊度的分佈情況,併將數值模擬數據與實驗測得數據做瞭對比分析.結果錶明,實驗實測數據與有限元分析數據基本一緻,模擬結果為磁約束磁控濺射裝置的設計提供瞭比較準確的數據資料.
자약속원리목전주요응용우열핵취변중,본문개소료자약속원리급의거자약속원리설계적자공천사장치,동시이용ANSYS11.0유한원분석연건대자약속자공천사장치적자장진행모의계산,계산자철수량、후도급상대자철간거대자장적영향,진이득출파면자장강도적분포정황,병장수치모의수거여실험측득수거주료대비분석.결과표명,실험실측수거여유한원분석수거기본일치,모의결과위자약속자공천사장치적설계제공료비교준학적수거자료.
