材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2010年
22期
16-19,28
,共5页
郭冬云%毛薇%秦岩%黄志雄%王传彬%沈强%张联盟
郭鼕雲%毛薇%秦巖%黃誌雄%王傳彬%瀋彊%張聯盟
곽동운%모미%진암%황지웅%왕전빈%침강%장련맹
Pb(Zr0.53Ti0.47)O3薄膜%Sol-gel工艺%退火温度%保温时间%薄膜厚度%铁电性能
Pb(Zr0.53Ti0.47)O3薄膜%Sol-gel工藝%退火溫度%保溫時間%薄膜厚度%鐵電性能
Pb(Zr0.53Ti0.47)O3박막%Sol-gel공예%퇴화온도%보온시간%박막후도%철전성능
利用Sol-gel工艺在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Pb(Zr0.53Ti0.47)O3(PZT)薄膜,研究了退火温度、保温时间和薄膜厚度对其晶相、微观结构和铁电性能的影响.在500℃退火处理的PZT薄膜开始形成钙钛矿相;在550℃退火处理的PZT薄膜基本形成钙钛矿相结构;升高退火温度(500～850℃)、延长保温时间(30～150min)、增加薄膜厚度(120～630nm)都有利于PZT晶粒的长大.在650～750℃退火的PZT薄膜具有较好的铁电性能,保温时间对PZT薄膜的铁电性能影响不大,PZT薄膜的厚度为200～300nm时可以得到比较好的铁电性能.在退火温度750℃、保温时间30min条件下退火处理厚310nm的PZT薄膜,其剩余极化值(2Pr)和矫顽电场(2Ec)分别是72μC/cm2、158kV/cm.
利用Sol-gel工藝在Pt/Ti/SiO2/Si襯底上製備瞭Pb(Zr0.53Ti0.47)O3(PZT)薄膜,研究瞭退火溫度、保溫時間和薄膜厚度對其晶相、微觀結構和鐵電性能的影響.在500℃退火處理的PZT薄膜開始形成鈣鈦礦相;在550℃退火處理的PZT薄膜基本形成鈣鈦礦相結構;升高退火溫度(500～850℃)、延長保溫時間(30～150min)、增加薄膜厚度(120～630nm)都有利于PZT晶粒的長大.在650～750℃退火的PZT薄膜具有較好的鐵電性能,保溫時間對PZT薄膜的鐵電性能影響不大,PZT薄膜的厚度為200～300nm時可以得到比較好的鐵電性能.在退火溫度750℃、保溫時間30min條件下退火處理厚310nm的PZT薄膜,其剩餘極化值(2Pr)和矯頑電場(2Ec)分彆是72μC/cm2、158kV/cm.
이용Sol-gel공예재Pt/Ti/SiO2/Si츤저상제비료Pb(Zr0.53Ti0.47)O3(PZT)박막,연구료퇴화온도、보온시간화박막후도대기정상、미관결구화철전성능적영향.재500℃퇴화처리적PZT박막개시형성개태광상;재550℃퇴화처리적PZT박막기본형성개태광상결구;승고퇴화온도(500～850℃)、연장보온시간(30～150min)、증가박막후도(120～630nm)도유리우PZT정립적장대.재650～750℃퇴화적PZT박막구유교호적철전성능,보온시간대PZT박막적철전성능영향불대,PZT박막적후도위200～300nm시가이득도비교호적철전성능.재퇴화온도750℃、보온시간30min조건하퇴화처리후310nm적PZT박막,기잉여겁화치(2Pr)화교완전장(2Ec)분별시72μC/cm2、158kV/cm.
