材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2010年
10期
29-32
,共4页
卢春灿%聂朝胤%潘婧%贾晓芳%谢红梅%杨娟
盧春燦%聶朝胤%潘婧%賈曉芳%謝紅梅%楊娟
로춘찬%섭조윤%반청%가효방%사홍매%양연
阳极线性离子源%磁控溅射%低温%氮化钛%结合强度
暘極線性離子源%磁控濺射%低溫%氮化鈦%結閤彊度
양겁선성리자원%자공천사%저온%담화태%결합강도
采用阳极线性离子源辅助磁控溅射技术,通过改变氮气流量以及离子源功率,在低温(150℃)条件下以不锈钢为基体制备了氮化钛薄膜.采用X射线衍射技术、显微硬度计、球盘式摩擦磨损仪、压痕法研究了薄膜的结构、硬度、耐磨性和结合强度,结果表明,采用阳极线性离子源辅助磁控溅射法在150℃低温条件下能制备出具有良好特性的金黄色的氮化钛薄膜.当氮气流量为20sccm、离子源功率为300W时,制备的薄膜硬度达到2039HV,且薄膜的耐磨性与结合强度最佳.离子的轰击作用使薄膜的力学性能得到了较大改善.
採用暘極線性離子源輔助磁控濺射技術,通過改變氮氣流量以及離子源功率,在低溫(150℃)條件下以不鏽鋼為基體製備瞭氮化鈦薄膜.採用X射線衍射技術、顯微硬度計、毬盤式摩抆磨損儀、壓痕法研究瞭薄膜的結構、硬度、耐磨性和結閤彊度,結果錶明,採用暘極線性離子源輔助磁控濺射法在150℃低溫條件下能製備齣具有良好特性的金黃色的氮化鈦薄膜.噹氮氣流量為20sccm、離子源功率為300W時,製備的薄膜硬度達到2039HV,且薄膜的耐磨性與結閤彊度最佳.離子的轟擊作用使薄膜的力學性能得到瞭較大改善.
채용양겁선성리자원보조자공천사기술,통과개변담기류량이급리자원공솔,재저온(150℃)조건하이불수강위기체제비료담화태박막.채용X사선연사기술、현미경도계、구반식마찰마손의、압흔법연구료박막적결구、경도、내마성화결합강도,결과표명,채용양겁선성리자원보조자공천사법재150℃저온조건하능제비출구유량호특성적금황색적담화태박막.당담기류량위20sccm、리자원공솔위300W시,제비적박막경도체도2039HV,차박막적내마성여결합강도최가.리자적굉격작용사박막적역학성능득도료교대개선.
