微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2008年
5期
35-36,40
,共3页
微悬臂梁%微模塑%聚合物%PDMS%固化
微懸臂樑%微模塑%聚閤物%PDMS%固化
미현비량%미모소%취합물%PDMS%고화
首先用电火花技术制作出不锈钢基座和悬臂梁,然后利用PDMS良好的柔性、弹性、复制分辨率以及良好的透气性能制作了过渡模版,通过二次复制的图形转移技术,制作了聚合物微悬臂梁.测试表明,所制作的聚合物悬臂梁基本满足悬臂梁工作的要求,利用该微模塑复制技术制备聚合物微悬臂梁的方法工艺简单、成本低、可批量生产.同时避免了刚性脱模带来的难题.根据实验,还给出了中温注射、低温固化、高温后固化的最佳工艺方法.
首先用電火花技術製作齣不鏽鋼基座和懸臂樑,然後利用PDMS良好的柔性、彈性、複製分辨率以及良好的透氣性能製作瞭過渡模版,通過二次複製的圖形轉移技術,製作瞭聚閤物微懸臂樑.測試錶明,所製作的聚閤物懸臂樑基本滿足懸臂樑工作的要求,利用該微模塑複製技術製備聚閤物微懸臂樑的方法工藝簡單、成本低、可批量生產.同時避免瞭剛性脫模帶來的難題.根據實驗,還給齣瞭中溫註射、低溫固化、高溫後固化的最佳工藝方法.
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