四氯化硅在西门子多晶硅生产流程内部的循环利用
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Circular Utilization of Silicon Tetrachloride in Production of Polycrystalline Silicon by Siemens Process
  • 万方数据
    东方电气评论 동방전기평론

    2008年 4期 70-72 ,共3页

    汪光裕%丁国江%艾波

    왕광유%정국강%애파

    四氯化硅%循环利用 四氯化硅%循環利用
    사록화규%순배이용
    笔者之一曾在1982年发表<SiCl4氢化反应的探索>的热力学分析的文章,结合近期国内多晶硅产业蓬勃发展的新形势和对西门子法工艺主要副产物SiCl4有效利用的迫切需要,本文试图探索四氯化硅在西门子法多晶硅生产流程中循环利用的可能途径.
    필자지일증재1982년발표<SiCl4경화반응적탐색>적열역학분석적문장,결합근기국내다정규산업봉발발전적신형세화대서문자법공예주요부산물SiCl4유효이용적박절수요,본문시도탐색사록화규재서문자법다정규생산류정중순배이용적가능도경.
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