现代电子技术
現代電子技術
현대전자기술
MODERN ELECTRONICS TECHNIQUE
2008年
24期
20-23
,共4页
激光直写系统%光刻%交流伺服电机%ISA
激光直寫繫統%光刻%交流伺服電機%ISA
격광직사계통%광각%교류사복전궤%ISA
设计一套高精度激光直写光刻系统,它采用带 17位增量式编码器的松下MINAS A系列交流伺服马达,同时还采用基于高精密滚珠丝杆和超精密线性滑轨导向的x-y运动平台,可以实现约30 nm的运动控制灵敏度.针对该系统开发一套基于ISA总线的三维运动控制卡.实验表明该激光直写光刻系统完全能够满足光刻精度的要求,并且具有控制简单、行程轨迹精确等特点,适用于许多微光学器件加工领域.
設計一套高精度激光直寫光刻繫統,它採用帶 17位增量式編碼器的鬆下MINAS A繫列交流伺服馬達,同時還採用基于高精密滾珠絲桿和超精密線性滑軌導嚮的x-y運動平檯,可以實現約30 nm的運動控製靈敏度.針對該繫統開髮一套基于ISA總線的三維運動控製卡.實驗錶明該激光直寫光刻繫統完全能夠滿足光刻精度的要求,併且具有控製簡單、行程軌跡精確等特點,適用于許多微光學器件加工領域.
설계일투고정도격광직사광각계통,타채용대 17위증량식편마기적송하MINAS A계렬교류사복마체,동시환채용기우고정밀곤주사간화초정밀선성활궤도향적x-y운동평태,가이실현약30 nm적운동공제령민도.침대해계통개발일투기우ISA총선적삼유운동공제잡.실험표명해격광직사광각계통완전능구만족광각정도적요구,병차구유공제간단、행정궤적정학등특점,괄용우허다미광학기건가공영역.
