低温工程
低溫工程
저온공정
CRYOGENICS
2007年
6期
51-53,58
,共4页
MgB2超导薄膜%乙硼烷%化学气相沉积%纯度
MgB2超導薄膜%乙硼烷%化學氣相沉積%純度
MgB2초도박막%을붕완%화학기상침적%순도
以高纯乙硼烷(B2H6)为B源,采用化学气相沉积(CVD)方法在多晶Al2O3衬底上沉积B薄膜,然后在Mg蒸气中异位退火来制备MgB2超导薄膜.通过X射线衍射和MgB2超导薄膜的电阻-温度曲线,研究了先驱硼薄膜的质量对MgB2超导薄膜的影响.
以高純乙硼烷(B2H6)為B源,採用化學氣相沉積(CVD)方法在多晶Al2O3襯底上沉積B薄膜,然後在Mg蒸氣中異位退火來製備MgB2超導薄膜.通過X射線衍射和MgB2超導薄膜的電阻-溫度麯線,研究瞭先驅硼薄膜的質量對MgB2超導薄膜的影響.
이고순을붕완(B2H6)위B원,채용화학기상침적(CVD)방법재다정Al2O3츤저상침적B박막,연후재Mg증기중이위퇴화래제비MgB2초도박막.통과X사선연사화MgB2초도박막적전조-온도곡선,연구료선구붕박막적질량대MgB2초도박막적영향.
