新技术新工艺
新技術新工藝
신기술신공예
NEW TECHNOLOGY & NEW PROCESS
2007年
11期
67-69
,共3页
边心超%张跃飞%霍纯青%陈强
邊心超%張躍飛%霍純青%陳彊
변심초%장약비%곽순청%진강
石墨%空心阴极等离子体放电%无氢DLC薄膜
石墨%空心陰極等離子體放電%無氫DLC薄膜
석묵%공심음겁등리자체방전%무경DLC박막
以石墨为电极,Ar气为辅助气体,利用空心阴极等离子体放电在载玻片上成功地制备了无氢类金刚石(DLC,diamond-like carbon)薄膜.通过激光拉曼(Raman)光谱分析了所制备DLC薄膜的结构;利用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)分析了薄膜的表面形貌;通过表面轮廓仪测量了薄膜的沉积速率;另外,试验中还利用摩擦磨损仪对薄膜的机械性能进行了研究.试验结果表明,制备的DLC薄膜比较致密均匀,粗糙度为8.1 nm,有较好的耐磨性能.
以石墨為電極,Ar氣為輔助氣體,利用空心陰極等離子體放電在載玻片上成功地製備瞭無氫類金剛石(DLC,diamond-like carbon)薄膜.通過激光拉曼(Raman)光譜分析瞭所製備DLC薄膜的結構;利用掃描電子顯微鏡(SEM)和原子力顯微鏡(AFM)分析瞭薄膜的錶麵形貌;通過錶麵輪廓儀測量瞭薄膜的沉積速率;另外,試驗中還利用摩抆磨損儀對薄膜的機械性能進行瞭研究.試驗結果錶明,製備的DLC薄膜比較緻密均勻,粗糙度為8.1 nm,有較好的耐磨性能.
이석묵위전겁,Ar기위보조기체,이용공심음겁등리자체방전재재파편상성공지제비료무경류금강석(DLC,diamond-like carbon)박막.통과격광랍만(Raman)광보분석료소제비DLC박막적결구;이용소묘전자현미경(SEM)화원자력현미경(AFM)분석료박막적표면형모;통과표면륜곽의측량료박막적침적속솔;령외,시험중환이용마찰마손의대박막적궤계성능진행료연구.시험결과표명,제비적DLC박막비교치밀균균,조조도위8.1 nm,유교호적내마성능.
