核技术
覈技術
핵기술
NUCLEAR TECHNIQUES
2007年
12期
983-986
,共4页
全方位离子注入与沉积%工业机%功能
全方位離子註入與沉積%工業機%功能
전방위리자주입여침적%공업궤%공능
全方位离子注入与沉积(Plasma immersion ion implantation and deposition,PⅢD)技术发展到现在,已经逐步走向工业化应用.本文介绍了全方位离子注入与沉积技术的原理,探讨了全方位离子注入与沉积工业机应该具备的功能,介绍了研制成功的全方位离子注入与沉积设备的结构和实施效果,其脉冲阴极弧等离子体源沉积速率达到2.9(A)/s,IGBT固体开关调制器输出电压达到10kV,能够一次处理多个工业零件.
全方位離子註入與沉積(Plasma immersion ion implantation and deposition,PⅢD)技術髮展到現在,已經逐步走嚮工業化應用.本文介紹瞭全方位離子註入與沉積技術的原理,探討瞭全方位離子註入與沉積工業機應該具備的功能,介紹瞭研製成功的全方位離子註入與沉積設備的結構和實施效果,其脈遲陰極弧等離子體源沉積速率達到2.9(A)/s,IGBT固體開關調製器輸齣電壓達到10kV,能夠一次處理多箇工業零件.
전방위리자주입여침적(Plasma immersion ion implantation and deposition,PⅢD)기술발전도현재,이경축보주향공업화응용.본문개소료전방위리자주입여침적기술적원리,탐토료전방위리자주입여침적공업궤응해구비적공능,개소료연제성공적전방위리자주입여침적설비적결구화실시효과,기맥충음겁호등리자체원침적속솔체도2.9(A)/s,IGBT고체개관조제기수출전압체도10kV,능구일차처리다개공업령건.
