核技术
覈技術
핵기술
NUCLEAR TECHNIQUES
2007年
12期
971-974
,共4页
张旭%王耀辉%吴先映%李强%张荟星%张孝吉
張旭%王耀輝%吳先映%李彊%張薈星%張孝吉
장욱%왕요휘%오선영%리강%장회성%장효길
磁过滤%类金刚石膜%过滤电流
磁過濾%類金剛石膜%過濾電流
자과려%류금강석막%과려전류
采用磁过滤阴极弧沉积技术以金属Ti为阴极在真空室中加入C2H2气体来制备含Ti类金刚石薄膜,研究不同的过滤弯管电流和在有过滤磁场存在条件下不同的C2H2气压对含Ti类金刚石薄膜的成分和组织结构的影响规律.实验结果表明:薄膜是由TiC和类金刚石两种结构组成的复合薄膜.C2H2气压和过滤弯管电流都对含Ti类金刚石薄膜的成分和组织结构有显著的影响.增加C2H2气压和过滤弯管电流都使薄膜中Ti元素的原子百分含量逐渐下降,C元素的原子百分含量逐渐增加,TiC峰强度逐渐降低,半高宽逐渐增加.
採用磁過濾陰極弧沉積技術以金屬Ti為陰極在真空室中加入C2H2氣體來製備含Ti類金剛石薄膜,研究不同的過濾彎管電流和在有過濾磁場存在條件下不同的C2H2氣壓對含Ti類金剛石薄膜的成分和組織結構的影響規律.實驗結果錶明:薄膜是由TiC和類金剛石兩種結構組成的複閤薄膜.C2H2氣壓和過濾彎管電流都對含Ti類金剛石薄膜的成分和組織結構有顯著的影響.增加C2H2氣壓和過濾彎管電流都使薄膜中Ti元素的原子百分含量逐漸下降,C元素的原子百分含量逐漸增加,TiC峰彊度逐漸降低,半高寬逐漸增加.
채용자과려음겁호침적기술이금속Ti위음겁재진공실중가입C2H2기체래제비함Ti류금강석박막,연구불동적과려만관전류화재유과려자장존재조건하불동적C2H2기압대함Ti류금강석박막적성분화조직결구적영향규률.실험결과표명:박막시유TiC화류금강석량충결구조성적복합박막.C2H2기압화과려만관전류도대함Ti류금강석박막적성분화조직결구유현저적영향.증가C2H2기압화과려만관전류도사박막중Ti원소적원자백분함량축점하강,C원소적원자백분함량축점증가,TiC봉강도축점강저,반고관축점증가.
