半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2007年
z1期
448-451
,共4页
郭春生%李秀宇%朱春节%马卫东%吕长志%李志国
郭春生%李秀宇%硃春節%馬衛東%呂長誌%李誌國
곽춘생%리수우%주춘절%마위동%려장지%리지국
寿命实验%失效率%寿命分布
壽命實驗%失效率%壽命分佈
수명실험%실효솔%수명분포
基于序进应力加速寿命实验的研究,提出了一种快速确定半导体器件失效率及寿命分布的新方法.该方法将序进应力加速实验应用于失效率评价中,在计算失效激活能并外推寿命的基础上,快速确定微电子器件的寿命分布及相应的失效率.以样品3DG130为例,在160～310℃范围内进行了序进应力加速寿命实验,然后根据模型计算得到了器件的寿命、分布和失效率.结果与文献吻合很好,验证了方法的可行性.
基于序進應力加速壽命實驗的研究,提齣瞭一種快速確定半導體器件失效率及壽命分佈的新方法.該方法將序進應力加速實驗應用于失效率評價中,在計算失效激活能併外推壽命的基礎上,快速確定微電子器件的壽命分佈及相應的失效率.以樣品3DG130為例,在160～310℃範圍內進行瞭序進應力加速壽命實驗,然後根據模型計算得到瞭器件的壽命、分佈和失效率.結果與文獻吻閤很好,驗證瞭方法的可行性.
기우서진응력가속수명실험적연구,제출료일충쾌속학정반도체기건실효솔급수명분포적신방법.해방법장서진응력가속실험응용우실효솔평개중,재계산실효격활능병외추수명적기출상,쾌속학정미전자기건적수명분포급상응적실효솔.이양품3DG130위례,재160～310℃범위내진행료서진응력가속수명실험,연후근거모형계산득도료기건적수명、분포화실효솔.결과여문헌문합흔호,험증료방법적가행성.
