强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2007年
9期
1507-1511
,共5页
余华%崔云%申雁鸣%齐红基%邵建达%范正修
餘華%崔雲%申雁鳴%齊紅基%邵建達%範正脩
여화%최운%신안명%제홍기%소건체%범정수
LaF3薄膜%沉积温度%晶体结构%折射率%残余应力%激光损伤阈值
LaF3薄膜%沉積溫度%晶體結構%摺射率%殘餘應力%激光損傷閾值
LaF3박막%침적온도%정체결구%절사솔%잔여응력%격광손상역치
在189,255,277和321 ℃的沉积温度下用热舟蒸发方法制备了LaF3薄膜.通过X射线衍射(XRD)测试了薄膜的晶体结构;采用分光光度计测量了薄膜的透射光谱,并计算得到样品的折射率、消光系数和截止波长;利用光学干涉仪测试得到了薄膜的残余应力;采用三倍频Nd:YAG脉冲激光测试了薄膜的激光损伤阈值.结果表明:随沉积温度的提高,LaF3薄膜的结晶状况明显变好,晶粒尺寸逐渐变大;膜层变得更加致密,折射率变大,然而薄膜吸收变得严重,截止波段向长波漂移,同时薄膜的残余应力也增加,内应力在薄膜的残余应力中起着决定作用;薄膜的激光损伤阈值在高温制备时相对较高.
在189,255,277和321 ℃的沉積溫度下用熱舟蒸髮方法製備瞭LaF3薄膜.通過X射線衍射(XRD)測試瞭薄膜的晶體結構;採用分光光度計測量瞭薄膜的透射光譜,併計算得到樣品的摺射率、消光繫數和截止波長;利用光學榦涉儀測試得到瞭薄膜的殘餘應力;採用三倍頻Nd:YAG脈遲激光測試瞭薄膜的激光損傷閾值.結果錶明:隨沉積溫度的提高,LaF3薄膜的結晶狀況明顯變好,晶粒呎吋逐漸變大;膜層變得更加緻密,摺射率變大,然而薄膜吸收變得嚴重,截止波段嚮長波漂移,同時薄膜的殘餘應力也增加,內應力在薄膜的殘餘應力中起著決定作用;薄膜的激光損傷閾值在高溫製備時相對較高.
재189,255,277화321 ℃적침적온도하용열주증발방법제비료LaF3박막.통과X사선연사(XRD)측시료박막적정체결구;채용분광광도계측량료박막적투사광보,병계산득도양품적절사솔、소광계수화절지파장;이용광학간섭의측시득도료박막적잔여응력;채용삼배빈Nd:YAG맥충격광측시료박막적격광손상역치.결과표명:수침적온도적제고,LaF3박막적결정상황명현변호,정립척촌축점변대;막층변득경가치밀,절사솔변대,연이박막흡수변득엄중,절지파단향장파표이,동시박막적잔여응력야증가,내응력재박막적잔여응력중기착결정작용;박막적격광손상역치재고온제비시상대교고.
