稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2007年
z1期
925-927
,共3页
傅宇东%王刚%刘臣%孟祥龙
傅宇東%王剛%劉臣%孟祥龍
부우동%왕강%류신%맹상룡
磁控溅射%纳米薄膜%Ni-Ti合金
磁控濺射%納米薄膜%Ni-Ti閤金
자공천사%납미박막%Ni-Ti합금
为了得到高质量的纳米薄膜,对直流磁控溅射法制备Ni-Ti薄膜工艺进行了研究.采用单晶硅和玻璃两种基体材料,并在不同的基体温度、晶化温度、溅射功率等条件下制备薄膜.之后对薄膜进行了XRD,SEM分析.分析结果表明:薄膜成分、厚度、表面形貌、致密度与溅射功率、基体温度、晶化温度、基体材料密切相关.并根据实验结果给出优化的纳米Ni-Ti薄膜制备工艺.
為瞭得到高質量的納米薄膜,對直流磁控濺射法製備Ni-Ti薄膜工藝進行瞭研究.採用單晶硅和玻璃兩種基體材料,併在不同的基體溫度、晶化溫度、濺射功率等條件下製備薄膜.之後對薄膜進行瞭XRD,SEM分析.分析結果錶明:薄膜成分、厚度、錶麵形貌、緻密度與濺射功率、基體溫度、晶化溫度、基體材料密切相關.併根據實驗結果給齣優化的納米Ni-Ti薄膜製備工藝.
위료득도고질량적납미박막,대직류자공천사법제비Ni-Ti박막공예진행료연구.채용단정규화파리량충기체재료,병재불동적기체온도、정화온도、천사공솔등조건하제비박막.지후대박막진행료XRD,SEM분석.분석결과표명:박막성분、후도、표면형모、치밀도여천사공솔、기체온도、정화온도、기체재료밀절상관.병근거실험결과급출우화적납미Ni-Ti박막제비공예.
