信息工程大学学报
信息工程大學學報
신식공정대학학보
JOURNAL OF INFORMATION ENGINEERING UNIVERSITY
2007年
3期
378-380
,共3页
磁控溅射%真空镀膜%实时监控%模糊控制
磁控濺射%真空鍍膜%實時鑑控%模糊控製
자공천사%진공도막%실시감공%모호공제
文章提出的薄膜复合制备方法与装置的测控系统能充分利用磁控溅射、真空阴极弧光蒸发、离子注入等方法,为全方位注入沉积复合镀膜表面改性提供所需等离子体,使之可以根据不同的工艺要求设计膜体的成分结构,从而很容易获得不同的改性膜层,来提高膜体的硬度、抗氧化性及热稳定性等.
文章提齣的薄膜複閤製備方法與裝置的測控繫統能充分利用磁控濺射、真空陰極弧光蒸髮、離子註入等方法,為全方位註入沉積複閤鍍膜錶麵改性提供所需等離子體,使之可以根據不同的工藝要求設計膜體的成分結構,從而很容易穫得不同的改性膜層,來提高膜體的硬度、抗氧化性及熱穩定性等.
문장제출적박막복합제비방법여장치적측공계통능충분이용자공천사、진공음겁호광증발、리자주입등방법,위전방위주입침적복합도막표면개성제공소수등리자체,사지가이근거불동적공예요구설계막체적성분결구,종이흔용역획득불동적개성막층,래제고막체적경도、항양화성급열은정성등.
