北京科技大学学报
北京科技大學學報
북경과기대학학보
JOURNAL OF UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY BEIJING
2007年
8期
841-844
,共4页
微谐振梁%空气阻尼%谐振频率%品质因子
微諧振樑%空氣阻尼%諧振頻率%品質因子
미해진량%공기조니%해진빈솔%품질인자
为了研究空气阻尼对谐振器工作性能的影响,基于Euler-Bernoulli假设、梁弯曲振动理论和气体阻尼理论,建立了考虑气体阻尼的梁振动方程,结合边界条件对方程进行了求解,得到了两种不同情况下气体阻尼对微梁谐振器的谐振频率和品质因子的影响.通过两种阻尼对谐振器影响的比较分析,指出在梁形状保持不变(长宽比和高宽比不变)情况下,微梁谐振器存在一个临界压膜厚度,此临界厚度可为器件的设计提供参考.
為瞭研究空氣阻尼對諧振器工作性能的影響,基于Euler-Bernoulli假設、樑彎麯振動理論和氣體阻尼理論,建立瞭攷慮氣體阻尼的樑振動方程,結閤邊界條件對方程進行瞭求解,得到瞭兩種不同情況下氣體阻尼對微樑諧振器的諧振頻率和品質因子的影響.通過兩種阻尼對諧振器影響的比較分析,指齣在樑形狀保持不變(長寬比和高寬比不變)情況下,微樑諧振器存在一箇臨界壓膜厚度,此臨界厚度可為器件的設計提供參攷.
위료연구공기조니대해진기공작성능적영향,기우Euler-Bernoulli가설、량만곡진동이론화기체조니이론,건립료고필기체조니적량진동방정,결합변계조건대방정진행료구해,득도료량충불동정황하기체조니대미량해진기적해진빈솔화품질인자적영향.통과량충조니대해진기영향적비교분석,지출재량형상보지불변(장관비화고관비불변)정황하,미량해진기존재일개림계압막후도,차림계후도가위기건적설계제공삼고.
