天津大学学报
天津大學學報
천진대학학보
JOURNAL OF TIANJIN UNIVERSITY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2007年
4期
473-478
,共6页
胡明%张绪瑞%张伟%杨海波%周庆瑜
鬍明%張緒瑞%張偉%楊海波%週慶瑜
호명%장서서%장위%양해파%주경유
多孔硅%孔隙率%计算机模拟
多孔硅%孔隙率%計算機模擬
다공규%공극솔%계산궤모의
为了用计算机模拟电化学方法制备多孔硅的过程,基于Monte Carlo和扩散限制模型(DLA)建立一种新模型,引入耗尽区范围、腐蚀半径和腐蚀几率等参数,用Matlab来实现.模拟得到了电流密度、HF酸浓度、腐蚀时间以及硅片掺杂浓度等实验条件对多孔硅孔隙率的影响趋势,与实验结果一致,模拟出的孔隙率值也与实验值接近.因此所建立的模型可以用来模拟电化学法制备多孔硅的过程.
為瞭用計算機模擬電化學方法製備多孔硅的過程,基于Monte Carlo和擴散限製模型(DLA)建立一種新模型,引入耗儘區範圍、腐蝕半徑和腐蝕幾率等參數,用Matlab來實現.模擬得到瞭電流密度、HF痠濃度、腐蝕時間以及硅片摻雜濃度等實驗條件對多孔硅孔隙率的影響趨勢,與實驗結果一緻,模擬齣的孔隙率值也與實驗值接近.因此所建立的模型可以用來模擬電化學法製備多孔硅的過程.
위료용계산궤모의전화학방법제비다공규적과정,기우Monte Carlo화확산한제모형(DLA)건립일충신모형,인입모진구범위、부식반경화부식궤솔등삼수,용Matlab래실현.모의득도료전류밀도、HF산농도、부식시간이급규편참잡농도등실험조건대다공규공극솔적영향추세,여실험결과일치,모의출적공극솔치야여실험치접근.인차소건립적모형가이용래모의전화학법제비다공규적과정.
