浙江大学学报（工学版）
浙江大學學報（工學版）
절강대학학보（공학판）
JOURNAL OF ZHEJIANG UNIVERSITY(ENGINEERING SCIENCE)
2006年
8期
1289-1292
,共4页
吕春华%殷学锋%刘东元%方肇伦
呂春華%慇學鋒%劉東元%方肇倫
려춘화%은학봉%류동원%방조륜
微制备%SU-8%高深宽比%微结构
微製備%SU-8%高深寬比%微結構
미제비%SU-8%고심관비%미결구
为了提高微驱动器的性能,提出了一种在氧化铟锡(ITO)玻璃上加工高深宽比SU-8微结构的方法.在导电玻璃的ITO层上涂覆一薄层AZ-4620正光胶,用常规的接触式曝光法,将光刻掩模上的二维图形转移到AZ-4620光胶层上,显影后利用ITO玻璃的导电性,在AZ-4620光胶曝光处电沉积镍,原掩膜图形可保真地转移到ITO玻璃表面的镍镀层上,使紫外光透过ITO玻璃基底进行反面曝光,从而保证了光刻掩模与SU-8光胶层间的完全接触,消除了厚光胶层表面不平在曝光时的散射和基片材料的反射影响,成功制备了深宽比为16、侧壁垂直度为89.5°的微结构.本方法使用设备简单,加工成本低.
為瞭提高微驅動器的性能,提齣瞭一種在氧化銦錫(ITO)玻璃上加工高深寬比SU-8微結構的方法.在導電玻璃的ITO層上塗覆一薄層AZ-4620正光膠,用常規的接觸式曝光法,將光刻掩模上的二維圖形轉移到AZ-4620光膠層上,顯影後利用ITO玻璃的導電性,在AZ-4620光膠曝光處電沉積鎳,原掩膜圖形可保真地轉移到ITO玻璃錶麵的鎳鍍層上,使紫外光透過ITO玻璃基底進行反麵曝光,從而保證瞭光刻掩模與SU-8光膠層間的完全接觸,消除瞭厚光膠層錶麵不平在曝光時的散射和基片材料的反射影響,成功製備瞭深寬比為16、側壁垂直度為89.5°的微結構.本方法使用設備簡單,加工成本低.
위료제고미구동기적성능,제출료일충재양화인석(ITO)파리상가공고심관비SU-8미결구적방법.재도전파리적ITO층상도복일박층AZ-4620정광효,용상규적접촉식폭광법,장광각엄모상적이유도형전이도AZ-4620광효층상,현영후이용ITO파리적도전성,재AZ-4620광효폭광처전침적얼,원엄막도형가보진지전이도ITO파리표면적얼도층상,사자외광투과ITO파리기저진행반면폭광,종이보증료광각엄모여SU-8광효층간적완전접촉,소제료후광효층표면불평재폭광시적산사화기편재료적반사영향,성공제비료심관비위16、측벽수직도위89.5°적미결구.본방법사용설비간단,가공성본저.
