传感器技术
傳感器技術
전감기기술
JOURNAL OF TRANSDUCER TECHNOLOGY
2004年
1期
73-76
,共4页
集成化%纳米探针%硅%纳机电系统
集成化%納米探針%硅%納機電繫統
집성화%납미탐침%규%납궤전계통
给出了纳机电探针阵列与压阻式传感器集成一维阵列器件结构及工作原理;通过理论计算得到该结构的一些主要的特性参数,计算结果与ANSYS模拟结果相符合;并运用微纳机械加工技术制造出该器件.该器件将加热电阻器、压阻式传感器和硅基针尖集成于在同一超薄微细悬臂梁,通过楔形开孔的机械切断,避免了加热电阻器高温处的PN结在高温下失去电隔离作用.室温下测得该器件加热电阻器的阻值为500～600Ω,压阻式传感器的力敏电阻器的阻值为6～8kΩ.
給齣瞭納機電探針陣列與壓阻式傳感器集成一維陣列器件結構及工作原理;通過理論計算得到該結構的一些主要的特性參數,計算結果與ANSYS模擬結果相符閤;併運用微納機械加工技術製造齣該器件.該器件將加熱電阻器、壓阻式傳感器和硅基針尖集成于在同一超薄微細懸臂樑,通過楔形開孔的機械切斷,避免瞭加熱電阻器高溫處的PN結在高溫下失去電隔離作用.室溫下測得該器件加熱電阻器的阻值為500～600Ω,壓阻式傳感器的力敏電阻器的阻值為6～8kΩ.
급출료납궤전탐침진렬여압조식전감기집성일유진렬기건결구급공작원리;통과이론계산득도해결구적일사주요적특성삼수,계산결과여ANSYS모의결과상부합;병운용미납궤계가공기술제조출해기건.해기건장가열전조기、압조식전감기화규기침첨집성우재동일초박미세현비량,통과설형개공적궤계절단,피면료가열전조기고온처적PN결재고온하실거전격리작용.실온하측득해기건가열전조기적조치위500～600Ω,압조식전감기적력민전조기적조치위6～8kΩ.
