微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2003年
4期
33-38
,共6页
平稳驱动%机电混合滤波器%锁相环速度控制%模糊参数自调整
平穩驅動%機電混閤濾波器%鎖相環速度控製%模糊參數自調整
평은구동%궤전혼합려파기%쇄상배속도공제%모호삼수자조정
在二元光学激光直写设备中,主轴的速度稳定性是影响光刻精度的主要原因之一.提出采用机电混合滤波器消除电机的轴向振动和径向振动对系统的影响,提高主轴系统瞬时运动的平稳性.利用鉴相器输出的频差与相差和主轴电机的速度对锁相调速系统的结构进行优化.同时,利用神经网络改善锁相环系统的非线性特性,并采用模糊参数自调整方法调节控制器的参数.结果表明使用机电混合滤波器可使主轴的轴向与径向振动小于20 nm,采用改进的锁相环控制可大大提高主轴的调速范围,并改善其动态性能.
在二元光學激光直寫設備中,主軸的速度穩定性是影響光刻精度的主要原因之一.提齣採用機電混閤濾波器消除電機的軸嚮振動和徑嚮振動對繫統的影響,提高主軸繫統瞬時運動的平穩性.利用鑒相器輸齣的頻差與相差和主軸電機的速度對鎖相調速繫統的結構進行優化.同時,利用神經網絡改善鎖相環繫統的非線性特性,併採用模糊參數自調整方法調節控製器的參數.結果錶明使用機電混閤濾波器可使主軸的軸嚮與徑嚮振動小于20 nm,採用改進的鎖相環控製可大大提高主軸的調速範圍,併改善其動態性能.
재이원광학격광직사설비중,주축적속도은정성시영향광각정도적주요원인지일.제출채용궤전혼합려파기소제전궤적축향진동화경향진동대계통적영향,제고주축계통순시운동적평은성.이용감상기수출적빈차여상차화주축전궤적속도대쇄상조속계통적결구진행우화.동시,이용신경망락개선쇄상배계통적비선성특성,병채용모호삼수자조정방법조절공제기적삼수.결과표명사용궤전혼합려파기가사주축적축향여경향진동소우20 nm,채용개진적쇄상배공제가대대제고주축적조속범위,병개선기동태성능.
