电子元件与材料
電子元件與材料
전자원건여재료
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
2000年
2期
5-6
,共2页
王龙海%罗英军%王世敏%黄桂玉
王龍海%囉英軍%王世敏%黃桂玉
왕룡해%라영군%왕세민%황계옥
溶胶-凝胶法%钽铌酸钾薄膜%厚度控制%均匀性控制
溶膠-凝膠法%鐽鈮痠鉀薄膜%厚度控製%均勻性控製
용효-응효법%단니산갑박막%후도공제%균균성공제
利用干涉法、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)等方法分析sol-gel法制备的KTN(钽铌酸钾)薄膜,详细分析讨论gel膜制备及热处理过程各因素对薄膜厚度及均匀性的影响.结果表明控制gel膜厚度及均匀性的关键是根据溶液黏度的变化及时调整匀胶转速、热处理过程中用低的升降温速度和通氧,整个工艺控制容易、重复性好.最终制出的薄膜为表面晶粒大小均匀、排列紧密、厚度一致、纯钙钛矿结构、高取向的KTN薄膜.
利用榦涉法、掃描電子顯微鏡(SEM)、X射線衍射(XRD)等方法分析sol-gel法製備的KTN(鐽鈮痠鉀)薄膜,詳細分析討論gel膜製備及熱處理過程各因素對薄膜厚度及均勻性的影響.結果錶明控製gel膜厚度及均勻性的關鍵是根據溶液黏度的變化及時調整勻膠轉速、熱處理過程中用低的升降溫速度和通氧,整箇工藝控製容易、重複性好.最終製齣的薄膜為錶麵晶粒大小均勻、排列緊密、厚度一緻、純鈣鈦礦結構、高取嚮的KTN薄膜.
이용간섭법、소묘전자현미경(SEM)、X사선연사(XRD)등방법분석sol-gel법제비적KTN(단니산갑)박막,상세분석토론gel막제비급열처리과정각인소대박막후도급균균성적영향.결과표명공제gel막후도급균균성적관건시근거용액점도적변화급시조정균효전속、열처리과정중용저적승강온속도화통양,정개공예공제용역、중복성호.최종제출적박막위표면정립대소균균、배렬긴밀、후도일치、순개태광결구、고취향적KTN박막.
