半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
1999年
1期
55-57
,共3页
廖梅勇%张智%廖克俊%王万录
廖梅勇%張智%廖剋俊%王萬錄
료매용%장지%료극준%왕만록
金刚石膜%场致发射%F-N曲线
金剛石膜%場緻髮射%F-N麯線
금강석막%장치발사%F-N곡선
报道了金刚石膜的低电场、大电流阴极发射电流现象.总结了几种不同类型样品结构的发射机理.提出了增强发射电流、提高发射稳定性的方法.综述了各种影响发射电流的因素,提出了较为统一的发射电流表达式,使得金刚石膜的发射电流符合F-N理论.
報道瞭金剛石膜的低電場、大電流陰極髮射電流現象.總結瞭幾種不同類型樣品結構的髮射機理.提齣瞭增彊髮射電流、提高髮射穩定性的方法.綜述瞭各種影響髮射電流的因素,提齣瞭較為統一的髮射電流錶達式,使得金剛石膜的髮射電流符閤F-N理論.
보도료금강석막적저전장、대전류음겁발사전류현상.총결료궤충불동류형양품결구적발사궤리.제출료증강발사전류、제고발사은정성적방법.종술료각충영향발사전류적인소,제출료교위통일적발사전류표체식,사득금강석막적발사전류부합F-N이론.
