光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2002年
9期
1138-1142
,共5页
超导薄膜%红外探测%阵列%微桥
超導薄膜%紅外探測%陣列%微橋
초도박막%홍외탐측%진렬%미교
在高Tc GdBaCuO超导薄膜上,采用光刻技术分别制成两种不同结构的辐射、热测量器件及2×4集成阵列式微桥器件红外(光)探测器.探测器芯片安装在STD-3型红外探测器杜瓦冷指上.用黑体及波长为0.6328μm的He-Ne激光器辐照器件,系统观测各种器件的特性,其中最好的结果:在10Hz时的噪音等效功率NEP(500,10,1)=3.6×10-12 WH1/2z;探测率D*(500,10,1)=1.6×1010 cmHz1/2W-1;响应率Rv=8.2×103VW-1.另外,多元串接微桥器件出现的多台阶式的特性,可望在红外探测计量及高频方面获得重要应用.
在高Tc GdBaCuO超導薄膜上,採用光刻技術分彆製成兩種不同結構的輻射、熱測量器件及2×4集成陣列式微橋器件紅外(光)探測器.探測器芯片安裝在STD-3型紅外探測器杜瓦冷指上.用黑體及波長為0.6328μm的He-Ne激光器輻照器件,繫統觀測各種器件的特性,其中最好的結果:在10Hz時的譟音等效功率NEP(500,10,1)=3.6×10-12 WH1/2z;探測率D*(500,10,1)=1.6×1010 cmHz1/2W-1;響應率Rv=8.2×103VW-1.另外,多元串接微橋器件齣現的多檯階式的特性,可望在紅外探測計量及高頻方麵穫得重要應用.
재고Tc GdBaCuO초도박막상,채용광각기술분별제성량충불동결구적복사、열측량기건급2×4집성진렬식미교기건홍외(광)탐측기.탐측기심편안장재STD-3형홍외탐측기두와랭지상.용흑체급파장위0.6328μm적He-Ne격광기복조기건,계통관측각충기건적특성,기중최호적결과:재10Hz시적조음등효공솔NEP(500,10,1)=3.6×10-12 WH1/2z;탐측솔D*(500,10,1)=1.6×1010 cmHz1/2W-1;향응솔Rv=8.2×103VW-1.령외,다원천접미교기건출현적다태계식적특성,가망재홍외탐측계량급고빈방면획득중요응용.
