半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2002年
8期
874-880
,共7页
孙志国%张群%黄卫东%蒋玉齐%程兆年%罗乐
孫誌國%張群%黃衛東%蔣玉齊%程兆年%囉樂
손지국%장군%황위동%장옥제%정조년%라악
硅压阻应力传感器%固化%热处理%残余应力
硅壓阻應力傳感器%固化%熱處理%殘餘應力
규압조응력전감기%고화%열처리%잔여응력
利用硅压阻传感器实时原位地记录粘接剂固化过程中的应力变化和残余应力的分布状况,以及在热处理过程中应力的演化过程.研究表明,若粘合剂固化后在空气中储存20天,应力将在后续热处理过程中急剧增加;而固化后接着经历峰值为150℃左右的热处理过程,则可以使残余应力稳定在一个相对低的值.
利用硅壓阻傳感器實時原位地記錄粘接劑固化過程中的應力變化和殘餘應力的分佈狀況,以及在熱處理過程中應力的縯化過程.研究錶明,若粘閤劑固化後在空氣中儲存20天,應力將在後續熱處理過程中急劇增加;而固化後接著經歷峰值為150℃左右的熱處理過程,則可以使殘餘應力穩定在一箇相對低的值.
이용규압조전감기실시원위지기록점접제고화과정중적응력변화화잔여응력적분포상황,이급재열처리과정중응력적연화과정.연구표명,약점합제고화후재공기중저존20천,응력장재후속열처리과정중급극증가;이고화후접착경력봉치위150℃좌우적열처리과정,칙가이사잔여응력은정재일개상대저적치.
