强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2011年
4期
974-976
,共3页
易荣清%崔延莉%王哲斌%赵屹东%郑雷%马陈燕
易榮清%崔延莉%王哲斌%趙屹東%鄭雷%馬陳燕
역영청%최연리%왕철빈%조흘동%정뢰%마진연
薄膜样品%同步辐射%厚度测量%测量不确定度
薄膜樣品%同步輻射%厚度測量%測量不確定度
박막양품%동보복사%후도측량%측량불학정도
薄膜样品在实验研究领域要求样品的厚度测量精度非常高,但由于样品质量小,采用称重的方法,测量精度较差.在北京同步辐射装置的中能(4B7A)和低能(4B7B)束线上(光源能区为0.1～6.0 keV,能量分辨大于1000),采用材料对单能光子的透过率来确定样品的质量厚度,通过不同能点的测量值进行不确定度分析,提高测量精度,降低不确定度.利用该方法开展了复合样品厚度的测量方法研究,给出了有CH衬底的薄膜样品的厚度,通过不确定度分析得出,薄膜样品厚度的测量不确定度小于1%.
薄膜樣品在實驗研究領域要求樣品的厚度測量精度非常高,但由于樣品質量小,採用稱重的方法,測量精度較差.在北京同步輻射裝置的中能(4B7A)和低能(4B7B)束線上(光源能區為0.1～6.0 keV,能量分辨大于1000),採用材料對單能光子的透過率來確定樣品的質量厚度,通過不同能點的測量值進行不確定度分析,提高測量精度,降低不確定度.利用該方法開展瞭複閤樣品厚度的測量方法研究,給齣瞭有CH襯底的薄膜樣品的厚度,通過不確定度分析得齣,薄膜樣品厚度的測量不確定度小于1%.
박막양품재실험연구영역요구양품적후도측량정도비상고,단유우양품질량소,채용칭중적방법,측량정도교차.재북경동보복사장치적중능(4B7A)화저능(4B7B)속선상(광원능구위0.1～6.0 keV,능량분변대우1000),채용재료대단능광자적투과솔래학정양품적질량후도,통과불동능점적측량치진행불학정도분석,제고측량정도,강저불학정도.이용해방법개전료복합양품후도적측량방법연구,급출료유CH츤저적박막양품적후도,통과불학정도분석득출,박막양품후도적측량불학정도소우1%.
