人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2002年
5期
481-485
,共5页
李丹%顾有松%常香荣%李福燊%乔利杰%田中卓
李丹%顧有鬆%常香榮%李福燊%喬利傑%田中卓
리단%고유송%상향영%리복신%교리걸%전중탁
Fe-Ti-N薄膜%结构%磁性
Fe-Ti-N薄膜%結構%磁性
Fe-Ti-N박막%결구%자성
Fe-Ti-N薄膜在高溅射功率900W下用RF磁控溅射方法制备,膜厚为630～780nm.当氮含量在Fe-Ti(3.9at.%)-N(8.8at.%) 和 Fe-Ti(3.3at.%)-N(13.5at.%)范围内,薄膜由α′和Ti2N沉淀组成,4πMs超过纯铁,最高可达2.38T;而 Hc下降为89A/m,可以满足针对10Gb/in2高存储密度的GMR/感应式复合读写磁头中写入磁头的需要.
Fe-Ti-N薄膜在高濺射功率900W下用RF磁控濺射方法製備,膜厚為630～780nm.噹氮含量在Fe-Ti(3.9at.%)-N(8.8at.%) 和 Fe-Ti(3.3at.%)-N(13.5at.%)範圍內,薄膜由α′和Ti2N沉澱組成,4πMs超過純鐵,最高可達2.38T;而 Hc下降為89A/m,可以滿足針對10Gb/in2高存儲密度的GMR/感應式複閤讀寫磁頭中寫入磁頭的需要.
Fe-Ti-N박막재고천사공솔900W하용RF자공천사방법제비,막후위630～780nm.당담함량재Fe-Ti(3.9at.%)-N(8.8at.%) 화 Fe-Ti(3.3at.%)-N(13.5at.%)범위내,박막유α′화Ti2N침정조성,4πMs초과순철,최고가체2.38T;이 Hc하강위89A/m,가이만족침대10Gb/in2고존저밀도적GMR/감응식복합독사자두중사입자두적수요.
