光学技术
光學技術
광학기술
OPTICAL TECHNOLOGY
2002年
4期
326-328,331
,共4页
位移测量%图像处理%CCD相机%平面工作台%同步检测
位移測量%圖像處理%CCD相機%平麵工作檯%同步檢測
위이측량%도상처리%CCD상궤%평면공작태%동보검측
为了实现平面工作台三自由度位移的同步检测,研制了图像处理位移检测系统.以CCD相机为核心,结合显微镜放大、图像采集和图像处理构成检测系统.图像处理软件用VC编制,计算并绘制了工作台三自由度位移随时间的变化关系,以及工作台在平面内的运动轨迹.系统的位移检测不受工作台大幅转动的影响.检测系统达到了亚像素级的位移分辨率.选择合适的显微镜放大倍率,可使检测系统既有较高的位移分辨率,又有一定的位移检测范围.
為瞭實現平麵工作檯三自由度位移的同步檢測,研製瞭圖像處理位移檢測繫統.以CCD相機為覈心,結閤顯微鏡放大、圖像採集和圖像處理構成檢測繫統.圖像處理軟件用VC編製,計算併繪製瞭工作檯三自由度位移隨時間的變化關繫,以及工作檯在平麵內的運動軌跡.繫統的位移檢測不受工作檯大幅轉動的影響.檢測繫統達到瞭亞像素級的位移分辨率.選擇閤適的顯微鏡放大倍率,可使檢測繫統既有較高的位移分辨率,又有一定的位移檢測範圍.
위료실현평면공작태삼자유도위이적동보검측,연제료도상처리위이검측계통.이CCD상궤위핵심,결합현미경방대、도상채집화도상처리구성검측계통.도상처리연건용VC편제,계산병회제료공작태삼자유도위이수시간적변화관계,이급공작태재평면내적운동궤적.계통적위이검측불수공작태대폭전동적영향.검측계통체도료아상소급적위이분변솔.선택합괄적현미경방대배솔,가사검측계통기유교고적위이분변솔,우유일정적위이검측범위.