真空与低温
真空與低溫
진공여저온
VACUUM AND CRYOGENICS
2002年
2期
77-82
,共6页
贾付云%赵云平%万志华%颜昌林%黄良甫
賈付雲%趙雲平%萬誌華%顏昌林%黃良甫
가부운%조운평%만지화%안창림%황량보
磁控溅射%MoS2/Sb2O3固体润滑复合膜%失效分析
磁控濺射%MoS2/Sb2O3固體潤滑複閤膜%失效分析
자공천사%MoS2/Sb2O3고체윤활복합막%실효분석
磁控溅射法制备了MoS2/Sb2O3固体润滑复合膜,用CSEM摩擦试验机、CSEM纳米划痕仪和PHI-5702XPS/AES多功能电子能谱仪,考察了其摩擦磨损性能、抗损伤性能和抗氧化性能,侧重分析了薄膜失效的原因,探讨了该固体润滑复合膜润滑失效的微观机理.
磁控濺射法製備瞭MoS2/Sb2O3固體潤滑複閤膜,用CSEM摩抆試驗機、CSEM納米劃痕儀和PHI-5702XPS/AES多功能電子能譜儀,攷察瞭其摩抆磨損性能、抗損傷性能和抗氧化性能,側重分析瞭薄膜失效的原因,探討瞭該固體潤滑複閤膜潤滑失效的微觀機理.
자공천사법제비료MoS2/Sb2O3고체윤활복합막,용CSEM마찰시험궤、CSEM납미화흔의화PHI-5702XPS/AES다공능전자능보의,고찰료기마찰마손성능、항손상성능화항양화성능,측중분석료박막실효적원인,탐토료해고체윤활복합막윤활실효적미관궤리.
