物理学报
物理學報
물이학보
2002年
2期
439-443
,共5页
辛煜%宁兆元%程珊华%陆新华%甘肇强%黄松
辛煜%寧兆元%程珊華%陸新華%甘肇彊%黃鬆
신욱%저조원%정산화%륙신화%감조강%황송
电子回旋共振化学气相沉积%红外吸收光谱%热退火%光学带隙
電子迴鏇共振化學氣相沉積%紅外吸收光譜%熱退火%光學帶隙
전자회선공진화학기상침적%홍외흡수광보%열퇴화%광학대극
改变CHF3-CH4源气体流量比,使用微波电子回旋共振化学气相沉积方法(ECR-CVD)制备了具有不同C-F键结构的a-C:F:H薄膜,着重研究了退火对其结构的影响.结果显示薄膜的厚度及其光学带隙E04随退火温度的上升均呈现了不同程度的下降.借助于红外吸收光谱和所提出的热解模型解释了产生这种关系的结构上的根源.
改變CHF3-CH4源氣體流量比,使用微波電子迴鏇共振化學氣相沉積方法(ECR-CVD)製備瞭具有不同C-F鍵結構的a-C:F:H薄膜,著重研究瞭退火對其結構的影響.結果顯示薄膜的厚度及其光學帶隙E04隨退火溫度的上升均呈現瞭不同程度的下降.藉助于紅外吸收光譜和所提齣的熱解模型解釋瞭產生這種關繫的結構上的根源.
개변CHF3-CH4원기체류량비,사용미파전자회선공진화학기상침적방법(ECR-CVD)제비료구유불동C-F건결구적a-C:F:H박막,착중연구료퇴화대기결구적영향.결과현시박막적후도급기광학대극E04수퇴화온도적상승균정현료불동정도적하강.차조우홍외흡수광보화소제출적열해모형해석료산생저충관계적결구상적근원.
