化学物理学报
化學物理學報
화학물이학보
CHINESE JOURNAL OF CHEMICAL PHYSICS
2002年
1期
69-74
,共6页
徐富春%王水菊%林秀华%汤丁亮%张棋河%薛茹
徐富春%王水菊%林秀華%湯丁亮%張棋河%薛茹
서부춘%왕수국%림수화%탕정량%장기하%설여
多弧离子镀%氮化钛%接触界面%表面特性
多弧離子鍍%氮化鈦%接觸界麵%錶麵特性
다호리자도%담화태%접촉계면%표면특성
用多弧离子镀技术在不同金属基材上进行TiN镀膜实验,制备了TiN/Fe、 TiN/Cu和TiN/Cr/Cu复合膜.借助扫描电子显微镜(SEM)、 X射线衍射仪(XRD)和光电子能谱(XPS),研究了TiN与Fe、 Cu和Cr/Cu三种不同衬底接触界面的形貌、结构及其表面特性.SEM观察发现,在一定离子镀膜条件下, TiN涂层可与Fe、 Cu和Cr/Cu金属基材形成均匀平整的接触界面,在铜基上TiN界面清晰,在Fe与Cr/Cu界面有明显的层状晶界微结晶分布.XRD分析显示, Fe、 Cu和Cr/Cu表面生成的薄膜都包含TiN、 Ti2N等多晶相,在Cr/Cu界面还包含Ti-Cr的金属间化合物.XPS结果表明,表面除了TiN膜外,还生成TiO2和TiOxNy等氧化膜.Ar+刻蚀5 min后, TiO2消失, TiOxNy减少, TiN则呈增加趋势.TiN与Cr/Cu界面形成明显的Ti-Cr和Cr-Ni互扩散层,这有助于增强薄膜附着力,形成较牢固的TiN涂层.
用多弧離子鍍技術在不同金屬基材上進行TiN鍍膜實驗,製備瞭TiN/Fe、 TiN/Cu和TiN/Cr/Cu複閤膜.藉助掃描電子顯微鏡(SEM)、 X射線衍射儀(XRD)和光電子能譜(XPS),研究瞭TiN與Fe、 Cu和Cr/Cu三種不同襯底接觸界麵的形貌、結構及其錶麵特性.SEM觀察髮現,在一定離子鍍膜條件下, TiN塗層可與Fe、 Cu和Cr/Cu金屬基材形成均勻平整的接觸界麵,在銅基上TiN界麵清晰,在Fe與Cr/Cu界麵有明顯的層狀晶界微結晶分佈.XRD分析顯示, Fe、 Cu和Cr/Cu錶麵生成的薄膜都包含TiN、 Ti2N等多晶相,在Cr/Cu界麵還包含Ti-Cr的金屬間化閤物.XPS結果錶明,錶麵除瞭TiN膜外,還生成TiO2和TiOxNy等氧化膜.Ar+刻蝕5 min後, TiO2消失, TiOxNy減少, TiN則呈增加趨勢.TiN與Cr/Cu界麵形成明顯的Ti-Cr和Cr-Ni互擴散層,這有助于增彊薄膜附著力,形成較牢固的TiN塗層.
용다호리자도기술재불동금속기재상진행TiN도막실험,제비료TiN/Fe、 TiN/Cu화TiN/Cr/Cu복합막.차조소묘전자현미경(SEM)、 X사선연사의(XRD)화광전자능보(XPS),연구료TiN여Fe、 Cu화Cr/Cu삼충불동츤저접촉계면적형모、결구급기표면특성.SEM관찰발현,재일정리자도막조건하, TiN도층가여Fe、 Cu화Cr/Cu금속기재형성균균평정적접촉계면,재동기상TiN계면청석,재Fe여Cr/Cu계면유명현적층상정계미결정분포.XRD분석현시, Fe、 Cu화Cr/Cu표면생성적박막도포함TiN、 Ti2N등다정상,재Cr/Cu계면환포함Ti-Cr적금속간화합물.XPS결과표명,표면제료TiN막외,환생성TiO2화TiOxNy등양화막.Ar+각식5 min후, TiO2소실, TiOxNy감소, TiN칙정증가추세.TiN여Cr/Cu계면형성명현적Ti-Cr화Cr-Ni호확산층,저유조우증강박막부착력,형성교뢰고적TiN도층.
